На лінії виробництва ця плівка з гнучкою електронікою чекає на процедуру нагрівання, яка дозволяє контролювати товщину шару фоторезисту. Навіть незначна зміна температури у кілька десятих градуса може призвести до зміни профілю шару фоторезисту, що, у свою чергу, призводить до появи прихованих дефектів у продукції. Ми створили спеціальний нагрівач для таких плівок, щоб усунути ці коливання.
Що є важливим під час роботи
Ми використовуємо короткочастотне інфрачервоне випромінювання з кварцово-галогенним джерелом та системою замкнутого контролю, що забезпечує однорідність температури на всій поверхні плівки ±0,1°C. Повторюваність результатів процедури нагрівання становить ±0,05°C, тож кожен процес нагрівання проходить однаково. Зона нагрівання розроблена для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100; поверхневе покриття та матеріали обрані так, щоб під час роботи не утворювалися частинки. Процедури м’якого та жорсткого нагрівання здійснюються за допомогою точного контролю температури, а система фіксує кожен процес для можливості повного контролю.
Чому це підходить для гнучкої електроніки
Ці базові матеріали є тонкими, малої теплоємності та вимогливими до умов зберігання. Стабільне та однорідне нагрівання забезпечує однакову товщину шару фоторезисту, кращий контроль критичних розмірів та меншу кількість доробок під час процесу літографії. Швидке досягнення потрібної температури скорочує час бездіяльності обладнання, тож час циклу зменшується, а якість продукції залишається на високому рівні. Енергоспоживання пристрою пристосоване до теплоємності плівки, що знижує витрати на одну плівку. Надійність означає безперервну роботу обладнання – без непланових зупинок та необхідності технічного обслуговування, яке порушує графік виробництва.
Що потрібно для ефективної роботи
Нагрівач потребує чистого та сухого джерела живлення, а також спеціальної системи відведення пари, щоб забезпечити стабільну роботу лампи та безпечні температури. Він працює зі стандартними інтерфейсами, але якщо його встановлювати на старішу платформу, може знадобитися незначна механічна та електрична модифікація. Такі модифікації слід проводити під час запланованого технічного обслуговування – виробництво не повинно нести витрати через перерви у роботі.