На виробничій лінії ефективність процесу часто залежить від температури. Навіть незначна зміна температури під час висушування фоторезисту може призвести до появи помилок у ширині ліній, які залишаються навіть після процедур етchingу та нанесення матеріалів. У системах CSP на рівні пластини також саме температура визначає процес загусання епоксидних матеріалів та процес плавлення припою. Що потрібно – це постійне нагрівання, курс за курсом, без зміни температурного центру.
Ось що має значення з технічної точки зору: Ми створили нагрівач для систем CSP на рівні пластини з можливістю точного контролю температури – стабільність температури на рівні ±0,1°C та однорідність температури по всій поверхні пластини. Для цього використовуються елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання та зони нагріву, ізольовані кварцом. Система підходить для чистих приміщень класу 1–100; використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування, а приміщення залишається герметичним, щоб кількість частинок залишалась стабільною. Відсутність частинок – це не просто слоган, а ціль проектування. Кожна зона контролюється автоматично, тож процеси нагрівання відбуваються згідно з заданими параметрами, а не залежно від умов у приміщенні.
Чому це ефективно на практиці: Цей нагрівач можна використовувати для сушіння пластин, висушування фоторезисту, загусання епоксидних матеріалів та сушіння після очищення. У процесі літографії він забезпечує точне нагрівання, що дозволяє підтримувати параметри CD та кутів бічних стінок у межах допустимих значень. У процесі упаковки він сприяє загусанню епоксидних матеріалів та підготовці припою до процесу плавлення, без перегріву, який може призвести до руйнування структури пластини. Це дозволяє зменшити кількість необхідних корекцій, стабілізувати кількість дефектів та забезпечити стабільні часи виконання процесів. Цей нагрівач є ефективним через свої компактні розміри та швидку реакцію; крім того, його можна легко замінити модульними елементами.
Кілька особливостей, які потрібно враховувати: Нагрівач є компактним та може бути інтегрований у стандартні системи. Однак точне вирівнювання з площиною пластини є важливим. Необхідно враховувати точність механічних параметрів на рівні субміліметра, а також перевіряти температурні параметри на краях пластини – саме там межі допустимих значень є найменшими. Робота в середовищі азоту покращує точність процесів, які чутливі до вологи, та подовжує термін служби елементів нагріву.