Wafer Kurutma Sürecinde Kuvars Tüplerinin Patlamasını Önleme
Dürüst olalım: Wafer üretimi sırasında bir kızılötesi lamba patladığında bu sadece bir “bakım sorunu” değildir; bu bir felakettir. Cam parçaları ve halojen gazları doğrudan waferlerin üzerine düşer. Bir kez patlama olursa tüm üretilen waferler boşa gider. İşte bu yüzden dijital kızılötesi kontrol cihazlarımızın ve lamba yapılarının nasıl tasarlandığı konusunda çok dikkatliyiz. Bu tür durumların asla yaşanmamasını sağlamak istiyoruz.
Her Şeyin Serin ve Sağlam Kalması
Çoğu zaman tüpler, termal şok veya bazı noktalarda oluşan aşırı ısılara bağlı olarak arızalanır. Bunu önlemek için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz ve filamentler de son derece hassas bir şekilde sarılır. Böylece ısı eşit şekilde dağılır.
Ancak donanım tek başına yeterli değildir. Anahtarı açar açmaz yüksek güçteki lambayı %100 güçte çalıştıramazsınız. Eğer filament, kuvarsın dayanabileceğinden daha hızlı genişlerse stres kırıkları meydana gelir. İşte bu kadar basit.
Bu yüzden PID devreleri kullanıyoruz. Lambayı aniden kapatmak yerine, kontrol cihazlarımız gerçek zamanlı olarak meydana gelen duruma göre gücü ayarlar. Bu da ısıyı daha kontrollü bir şekilde yaymanın yoludur.
Kirliliğin Önlenmesi
En iyi kontroller bile olsa kazalar meydana gelebilir. Bu yüzden bir güvenlik önlemi aldık. Lambaları güçlendirilmiş kuvars kılıflarına veya özel muhafazalara yerleştiriyoruz. Bu sayede tüp patladığında parçalar waferlere temas etmez.
Ayrıca konektörlere de büyük önem veriyoruz. Eğer konektörler yüksek akım yüklerine dayanacak şekilde yapılmamışsa, çentikler oluşabilir veya ark oluşabilir. Bu da voltaj düşüşlerine ve eşitsiz ısınmaya neden olur; bu da cam üzerinde baskı oluşturur. Bağlantıların sağlam olduğundan emin oluyoruz.
Yüksek Isının Gerçekleri
İşte zor olan kısım burası. Hızlı kurutma işlemleri için yüksek ısı yoğunluğuna ihtiyaç vardır, ancak bu da kuvarsi zorlayıcı bir duruma getirir. Eğer lambaları maksimum güçte dar bir alanda kullanıyorsanız, soğutma fanlarının yeterince güçlü olması gerekir. Eğer lambanın uçlarına yeterli hava akışı sağlanmazsa, ısı orada birikir. Genellikle sızıntılar buradan başlar.
Lambalarınızın gücüne göre hava akış parametrelerini mutlaka kontrol edin. Bu küçük bir detay gibi görünse de, sorunsuz bir işlem ile felaket arasındaki fark budur.