Как довести устройства инфракрасного нагрева до стандартов класса 100
Когда вы работаете на производстве полупроводников или в чистой комнате класса 100, тепло — это ещё не всё. Настоящая проблема заключается в частицах пыли.
Большинство стандартных нагревательных элементов являются проблемой в таких условиях. При нагревании и охлаждении они начинают разрушаться. Чтобы этого избежать, мы используем защитные экраны из кварцевого стекла высокой чистоты.
Почему именно кварц?
Стандартное стекло содержит бор и щелочи. При нагревании эти примеси мигрируют внутрь стекла. Это крайне нежелательно. Мы используем спеченный кремнийд кремния — он имеет очень высокую чистоту, что позволяет ему служить своего рода «стенкой» между нагревательным элементом и обрабатываемым объектом. Никаких металлических частиц не попадает в зону обработки. Только чистое тепло.
Кроме того, кварц очень прочен. Он выдерживает резкие перепады температур без появления трещин. Если используются лампы с высокой мощностью, кратковолновое инфракрасное излучение проходит сквозь кварц, не поглощаясь им.
Дизайн без пыли
Мы полностью отказались от использования клеев и органических связующих веществ. Почему? Потому что эти материалы сгорают, что приводит к образованию химических остатков на поверхности чипов. Этого никто не хочет.
Мы также тщательно шлифуем все края. Это помогает избавиться от микроскопических трещин, в которых может скапливаться пыль.
Ещё один совет: проверьте крепления. Если они сломаются, все будет испорчено. Лучше использовать крепления из нержавеющей стали или PTFE. Это предотвращает появление царапин на защитном экране, а значит, и появления облака кварцевой пыли.
Реальные ограничения
Нужно помнить, что, хотя кварц имеет химическую инертность, он все равно остается стеклом. Он может выдерживать тепловые нагрузки, но если на него упасть что-то тяжелое, он будет разрушен. Убедитесь, что корпус устройства спроектирован так, чтобы не было прямого контакта металла со стеклом. Небольшое расстояние между ними очень важно.
И последнее: даже самые качественные защитные экраны со временем накапливают поверхностные загрязнения. Чтобы сохранить высокий уровень передачи излучения, необходимо регулярно чистить экран с использованием электронного растворителя IPA. Если экран будет чистым, он будет продолжать функционировать как можно дольше.