Почему мы отказываемся от традиционных печей в пользу инфракрасных устройств для высыхания и обработки полупроводников
Долгое время для высыхания и обработки полупроводников использовались большие конвекционные печи. Но ситуация меняется. Сегодня большинство компаний переходят на использование инфракрасных устройств. Это связано не только с требованиями к экологичности производства или запретом на использование свинца, но и с тем, что старый способ является довольно ресурсоемким.
Инфракрасные устройства не нагревают всю комнату – они направляют энергию прямо на поверхность материала.
Преимущества прямого нагрева
Представьте себе традиционную печь: нужно долго нагревать всю камеру, чтобы нагреть всего лишь несколько пластин. Это значительная трата энергии.
С использованием инфракрасных ламп используется электромагнитное излучение, которое направляется прямо на нужный слой или клей. Благодаря этому температура достигается за считанные секунды. Нет необходимости ждать минуты.
Это снижает расходы на электроэнергию и сохраняет чистоту воздуха. Нет продуктов сгорания, нет вредных веществ. Это соответствует требованиям современных производств к чистоте и отсутствию свинца.
Важность качества конструкции
Нельзя просто поместить лампы в картонную коробку и считать, что все готово. Если вы работаете в чистой комнате, то корпус устройства играет ключевую роль.
Мы используем высококачественную нержавеющую сталь для корпусов нагревателей. Они должны быть изготовлены с высокой точностью. Почему? Потому что при некачественном изготовлении может произойти выброс газов или появление мелких частиц в окружающей среде. Один кусочек пыли в неправильном месте может испортить целую партию полупроводников.
Для нагрева мы обычно используем кварцево-галогеновые лампы. Они мощные, компактные и быстро нагреваются.
Проблемы использования инфракрасных устройств
Инфракрасные устройства действительно быстрые, но они могут быть капризными. Если геометрия отражателя не соответствует требованиям, возникают «горячие точки». Нельзя просто собрать устройство самостоятельно – необходимо тщательно настроить расстояние и угол наклона, чтобы тепло равномерно распределялось по поверхности пластины.
Если что-то пойдет не так, пластина может деформироваться или подвергнуться неравномерной обработке. Это серьезная проблема. Поэтому мы активно используем системы точного контроля температуры. Необходимо быть осторожными, чтобы не превысить заданную температуру – иначе можно повредить сам материал.