Voorkom dat kapotte lampen je productie verstoren
In een fabriek waar veel halfgeleiders worden geproduceerd, is het kapotgaan van een lamp geen simpel ‘onderhoudsprobleem’. Het is een nachtmerrie. Stel je voor: de kwartsketting breekt, waardoor er scherpe glasscherven en wolframdraadjes rechtstreeks op de wafers terechtkomen. Eén kapotte lamp kan al zorgen voor het verlies van een hele lading producten. Daarom bouwen we onze infraroodverwarmingsystemen zo dat ze de schade voordat deze de producten bereikt, kunnen opvangen.
Waarom gaan lampen eigenlijk kapot?
Lampen met hoge vermogens staan onder grote druk. Ze moeten voortdurend worden opgewarmd en afgekoeld, waardoor er veel spanning op het materiaal komt te staan. Als er zelfs maar een klein defect in de kwartsketting zit – of als de warmte niet gelijkmatig wordt verspreid – zal de ketting breken. In een eenvoudige set-up betekent dit dat alles kapotgaat.
We lossen dit op door gebruik te maken van kwartskettingen van hoge zuiverheid. We hebben veel tijd besteed aan het bepalen van de ideale dikte van de wanden van deze kettingen, zodat de warmte nog steeds goed kan doordringen, terwijl de ketting toch stevig blijft. We verhogen niet zomaar het vermogen van de lampen; in plaats daarvan worden alle lampen zo ontworpen dat ze de thermische belastingen die tijdens het productieproces optreden, aankunnen.
Het voorkomen van schade
Om de wafers schoon te houden, gebruiken we een eenvoudige strategie: we plaatsen de lampen in een speciale beschermende huls. Dit is een nauwkeurig ontworpen bescherming die als schild fungeert. Als de lamp kapotgaat, blijven de scherven in de huls zitten. Je moet natuurlijk nog steeds een kapotte lamp vervangen, maar de wafers blijven dan schoon.
We letten ook goed op de verbindingspunten. Als een connector niet perfect past, kan er kortsluiting optreden. Dit veroorzaakt hete punten, en hete punten leiden tot vroegtijdige storingen. We gebruiken connectoren met strikte toleranties, zodat de elektrische verbinding stevig is.
De compromissen
Eerlijk gezegd: het gebruik van een beschermende huls belemmert wel een beetje de overdracht van infraroodstraling. Je verliest dus een klein percentage van de warmte. Mogelijk moet je de instellingen van de lamp aanpassen of de werktijd iets verlengen om dit te compenseren. Maar eerlijk gezegd is dit een klein offer vergeleken met het risico dat een hele lading wafels moet worden weggegooid vanwege een paar stukjes glas.