Op de productielijn is een verschil van 1°C in de temperatuur tijdens het bakken van de photoresist al voldoende om de dikte van de coatings te veranderen. Een oneffen droogingscyclus? Dat leidt tot problemen die de productiegraad negatief beïnvloeden. In geavanceerde fabrieken gebruiken we zonegebonden verwarming om deze afwijkingen al op hun bron te voorkomen.
Wat technisch gezien echt belangrijk is:
We maken gebruik van een aparte controle voor elke zone, met behulp van halogeen- of NIR-technologie. Hierdoor blijft de uniformiteit van de temperatuur op het niveau van de wafers binnen ±0,1°C gedurende het hele proces. De apparatuur bevindt zich in schoonruimtes van klasse 1–100, zodat er geen deeltjes vrijkomen. Dit wordt gecontroleerd door in-situ monitoring en door het gebruik van materialen die weinig gassen afgeven.
De reproduceerbaarheid blijft hoog dankzij sensoren die continu de temperatuur monitoren en een nauwkeurige controle over het proces. Hierdoor blijven de verschillende stappen in het proces consistent, shift na shift. De energieverbruik neemt ook af: alleen de gebieden die verwarmd moeten worden, worden verwarmd, en de temperatuurstijgingen zijn consistent.
Waarom dit belangrijk is:
Bij lithografie houdt zonegebonden verwarming de temperatuur tijdens het bakken van de photoresist onder controle. Hierdoor blijven de viscositeit en de eigenschappen van de coatings stabiel, zodat de kwaliteit van het product gewaarborgd blijft.
Voor het reinigen en drogen van wafers zorgt zonegebonden verwarming ervoor dat er geen waterdruppels of andere oneffenheden ontstaan. Hierdoor kan de wafer sneller drogen, zonder dat er thermische schokken optreden.
Bij het verpakken zorgt zonegebonden verwarming voor een snel en uniform drogen van onderfills en encapsulanten. Hierdoor wordt de productietijd verkort, terwijl de kwaliteit van het product behouden blijft. Het resultaat is minder afval, een stabiele productiekwaliteit en een betere planning van de productie.
Wat je van tevoren moet weten:
Om zonegebonden verwarming toe te passen in bestaande installaties, moet de geometrie van de kamer, de kwartsonderdelen en de afvoersystemen aangepast worden. Plan hierbij rekening mee dat er kortere integratietijden nodig zijn en dat er kalibratie nodig is.
Je geeft wat ruimte op om extra controllers en sensoren te plaatsen. Het voordeel is echter een betere temperatuurcontrole en meer beschikbare productietijd.