Di ruang pengeluaran, perubahan suhu semasa proses pembakaran bahan fotoresist atau proses epitaksi bukan sahaja menjejaskan kelajuan pengeluaran, tetapi juga mengurangkan kualiti hasil pengeluaran. Anda memerlukan haba yang diberikan tepat pada lokasi yang ditentukan oleh prosedur pengeluaran, dari satu kitaran ke kitaran seterusnya.
Apa yang penting dari segi teknikal
Lampu inframerah yang digunakan untuk proses epitaksi mampu menghasilkan tenaga yang cepat dan terarah, dengan kawalan yang tepat. Gelombang inframerah pendek dapat meresap dengan efektif ke dalam lapisan nipis dan permukaan wafer, sehingga memberikan respons yang cepat dan proses penyejukan yang efektif. Suhu di kawasan yang diterangi oleh lampu ini kekal stabil dalam lingkungan ±0.1°C, dan ketepatan pengulangan proses tetap baik walaupun selepas ribuan kitaran.
Badan lampu ini direka khusus untuk digunakan dalam lingkungan kelas 1–100, menggunakan bahan yang tidak mengeluarkan gas berbahaya, serta reka bentuk yang tidak menyebabkan pelepasan zarah-zarah yang boleh merosakkan proses pengeluaran. Kuasa output lampu ini kekal stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan kurang dari 5%, sehingga membantu mengelakkan perubahan suhu yang tidak diinginkan.
Mengapa ia berkesan
Keperluan yang sama juga wujud dalam proses lain seperti pengeringan wafer, pembakaran bahan fotoresist, proses pakejannya, serta pengeringan selepas proses pembersihan: haba yang dapat dihasilkan dengan cepat dan secara konsisten. Lampu ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat, dan kekal stabil tanpa melebihi batas suhu yang ditetapkan. Ini seterusnya mengurangkan tekanan termal pada struktur wafer dan lapisan-lapisan yang ada padanya.
Hasilnya ialah kualiti produk yang lebih baik, pengurangan bahan buangan akibat proses yang tidak sempurna, serta masa pengeluaran yang lebih singkat tanpa mengganggu spesifikasi yang ditetapkan. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana tenaga hanya digunakan apabila diperlukan, tanpa ada kehilangan tenaga yang tidak perlu.
Perkara yang perlu diketahui
Lampu ini bersaiz kecil namun memiliki kuasa yang tinggi, jadi pengurusan suhu di titik penggunaan lampu sangat penting. Pastikan reka bentuk lampu sesuai dengan alat yang digunakan, pastikan penyesuaian optiknya tepat, dan pastikan bekalan kuasa serta sistem penyejukan sesuai dengan keperluan proses pengeluaran.
Anda perlu menunggu sedikit masa untuk lampu mencapai suhu yang stabil setelah dipasang. Setelah itu, proses pengeluaran dapat berlangsung dengan lancar.