On the fab floor, kitaran SRD adalah di mana hasil diperoleh—atau hilang secara senyap. Pembilasan yang meninggalkan titisan mikro, atau pengeringan yang menyebabkan tekanan terbina pada wafer, berubah menjadi kecacatan dan bahan buangan. Lampu inframerah dalam Spin Rinse Dryer anda bukan sekadar sumber haba. Ia adalah penggerak terma yang menetapkan sempadan pengeringan. Jika output berubah atau keseragaman terganggu, kebolehulangan yang anda harapkan dalam litografi dan pemprosesan fotoresist turut terjejas.
Ini yang kami bina pada lampu inframerah SRD: pemancar NIR gelombang pendek dalam ampul kuarza tindak balas pantas, ditala untuk kenaikan terma cepat dan kawalan keadaan mantap yang ketat. Anda mendapat keseragaman suhu pada tahap wafer dalam ±0.1°C merentasi tetingkap pengeringan, dan pemulihan dalam masa sub-saat selepas pembilasan berubah. Perhimpunan ini dinilai untuk penggunaan bilik bersih Kelas 1–100, dengan bahan rendah pengeluaran gas dan geometri direka untuk mengurangkan pelepasan zarah. Output kekal dalam lingkungan 1% bagi lebih 5,000 jam, dan profil spektrum disesuaikan dengan penyerapan air dan filem permukaan—supaya tenaga digunakan untuk pengewapan, bukan memanaskan wafer.
Dalam SRD, lampu mesti memberikan haba yang boleh diulang tanpa mengganggu dinamik putaran atau kimia pembilasan. Profil kami memastikan wafer berada dalam bajet terma yang mengelakkan aliran semula fotoresist atau keruntuhan corak, sambil membersihkan sisa pembilasan dengan cepat dan bersih. Keuntungannya ialah pengurangan lot kerja semula, kawalan dimensi kritikal yang stabil, dan masa kitaran yang boleh dirancang. Penggunaan tenaga menurun kerana lampu mencapai titik tetapan dengan cepat dan mengekalkannya tanpa lebihan, serta hayat pemancar yang panjang mengurangkan tempoh penyelenggaraan dan inventori alat ganti.
Prestasi lampu berkait langsung dengan geometri ruang SRD dan kelajuan putaran. Kami memadankan corak fokus lampu dengan laluan wafer, tetapi jika anda memasang semula peralatan SRD lama, anda mungkin perlu membuat perubahan kecil pada optik atau pelat pemasangan. Rancang pemasangan mengikut aliran udara bilik bersih dan beban terma—lampu beroperasi pada suhu tinggi, dan ekzos tempatan perlu disesuaikan untuk mengekalkan suhu ruang stabil. Setelah diselaraskan, anda hanya perlu pengesahan output berkala menggunakan pirometer. Tiada penyelarasan semula diperlukan. Hanya data.