Di atas bangku yang basah, proses pembilasan merupakan masa di mana kualiti produk berkurangan secara perlahan-lahan. Adakah suhu yang terlalu sejuk atau tidak seragam semasa proses pembilasan? Itulah sebabnya timbulnya kesan air, zarah-zarah yang melekat pada permukaan wafer, serta tekanan yang tidak dapat dikawal. Apa yang diperlukan ialah haba yang stabil, terkawal, dan bersih.
Ketepatan Pemanasan Inframerah: Keseragaman dan Kebolehulangan pada Tahap Sub-Millimeter
Kami menggunakan lampu inframerah yang tahan air, yang mampu menghasilkan medan haba yang stabil dengan ketepatan sub-millimeter. Dengan cara ini, suhu wafer akan tetap stabil dari satu sesi ke sesi yang lain. Cahaya inframerah gelombang pendek memanaskan objek dengan cepat, dan ini memudahkan kawalan suhu yang tepat. Angka-angka menunjukkan bahawa keseragaman suhu wafer adalah dalam lingkungan ±0.1°C, dan kebolehulangan proses pemanasan juga tinggi.
Mengapa Ia Berkesan di Stesen Pembilasan
Proses pemanasan semasa fasa pembilasan perlu dilakukan dalam ruang yang bersih, dengan ketepatan yang tinggi. Lampu tersebut tidak menghasilkan sebarang zarah, dan kotak pelindungnya mampu menahan semburan air bertekanan tinggi serta bahan kimia tanpa menjejaskan prestasi lampu. Ini membolehkan masa proses menjadi lebih cepat, kerana lampu dapat mencapai suhu yang ditetapkan dalam masa beberapa saat sahaja. Penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan, kerana haba yang dihasilkan disesuaikan dengan keperluan proses pembilasan. Ini mengurangkan keperluan untuk memproses semula produk, serta memastikan integriti corak pada permukaan wafer tetap terjaga.
Nota Pemasangan dan Pengoperasian
Toleransi pemasangan haruslah sangat ketat. Pastikan sinar lampu selaras dengan permukaan wafer dalam lingkungan ±0.5 mm untuk mencapai keseragaman suhu yang baik. Lampu ini direka untuk digunakan bersama air yang telah dideionkan dan bahan kimia pembilasan biasa. Namun, untuk larutan yang mengandungi klorida yang tinggi atau bahan kimia yang agresif, perlu ada penilaian khusus terhadap bahan yang digunakan. Lakukan pemeriksaan berkala terhadap intensiti dan suhu lampu. Walaupun lampu tersebut stabil, perubahan pada laluan sensor boleh menyebabkan hilangnya kebolehulangan proses pemanasan dari masa ke masa.