Class 100 클린룸을 항상 청결하게 유지하는 방법
만약 Class 100 등급의 클린룸을 운영하고 있다면, 그곳에서는 오차가 허용되지 않습니다. 아주 작은 먼지 조각이나 가스 한 방울만 있어도 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다.
문제는 대부분의 가열 요소들이 이러한 환경에 적합하게 만들어지지 않았다는 것입니다. 이러한 가열 요소들은 쉽게 부서지거나 VOC를 방출합니다. 결국 이들은 오염물질을 퍼뜨리는 ‘작은 캔버스’와 같은 역할을 합니다. 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용함으로써 더 나은 해결책을 찾아냈습니다.
왜 석영이 중요한가?
대부분의 산업용 램프는 “일반적인” 석영을 사용합니다. 일반 공장에서는 괜찮지만, 클린룸에서는 금속 불순물이 기판 위로 침투할 수 있습니다.
우리는 불순물이 거의 없는 융합 실리카를 사용합니다. 이 물질은 고온에서도 파괴되지 않으며, 표면에 잔여물이 남지 않도록 철저히 정화됩니다.
게다가 이 램프들은 단파장 IR을 사용하기 때문에, 장파장 열보다 훨씬 빠르게 기판에 열을 전달합니다. 그래서 준비 시간도 훨씬 짧아집니다. 정말 빠릅니다. 그 덕분에 생산 라인의 작동이 원활해집니다.
제작 과정에 대한 세부 사항
우리는 단순히 유리 재료에만 주목하지 않았습니다. 문제가 발생할 수 있는 부분들도 함께 고려했습니다.
우리는 금 도금된 전극이나 특수 합금 전극을 사용합니다. 왜냐하면 접합 부위에서의 산화 현상이 큰 문제가 되기 때문입니다. 또한, 처음 사용할 때 연기가 나거나 성능이 저하되지 않도록 고온에서도 안정적인 성능을 보이는 전선을 사용합니다. 그래서 처음 사용할 때 어떤 문제도 발생하지 않습니다.
설치할 때 주의해야 할 점은 와트 밀도입니다. 고출력 램프는 엄청난 열을 발생시키므로, 냉각 시스템이 그 열을 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 환기가 제대로 되지 않으면 램프 자체가 손상될 수 있습니다.
실제 환경에서의 활용
이 램프들은 경화, 건조, 소결 과정에 사용될 수 있도록 설계되었습니다.
가장 좋은 점은 유기 결합제가 전혀 들어있지 않다는 것입니다. 그래서 램프가 입자를 배출하여 생산 라인을 오염시키는 일이 없습니다. 안정적인 열만이 제공되므로, 생산 라인이 오염될 걱정도 없습니다.
전원 공급 장치의 전압이 맞는지 꼭 확인하세요. 잘못된 전압을 사용하면 시작하기도 전에 필라멘트가 손상될 수 있습니다.