더 이상 고가의 장비를 오븐으로 만들지 마세요.
대부분의 표준 가열 요소들은 너무 많은 열을 방출합니다. 열이 360도로 사방으로 퍼지는 것이죠. 반도체 장비의 공간이 제한적일 경우 이는 큰 문제가 됩니다. 그렇게 발생하는 여분의 열이 장비의 내벽에 닿게 되는 것입니다.
그 결과는 바로 “뜨거운 벽”입니다. 이는 작업자들에게 있어 안전상의 위험이며, 에너지 낭비도 심각합니다. 사실 우리가 신경 써야 할 것은 웨이퍼일 뿐인데, 결국 장비의 본체가 과도하게 가열되는 셈입니다.
해결책은 아주 간단합니다: 방향성 있는 적외선을 사용하는 것입니다.
마치 일반 전구 대신 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 방향성 있는 적외선 램프는 반사판이나 특수 코팅을 사용하여 에너지를 정확히 필요한 곳으로 보냅니다.
에너지는 웨이퍼나 기판에만 도달하고, 그곳에 머물게 됩니다. 장비의 내벽은 여분의 열을 흡수하지 않으므로, 장비 내부가 사우나처럼 뜨거워지는 일이 없습니다.
현장에서 왜 이것이 중요한가요?
이러한 램프를 선택할 때 가장 중요한 것은 “방사각”입니다. 빔이 좁을수록 불필요한 방사선이 줄어듭니다.
장비를 관리하거나 웨이퍼를 로드하는 사람들에게는 이것이 매우 중요합니다. 그렇게 하면 패널을 열 때마다 화상을 입을 위험이 줄어듭니다. 게다가, 시설의 냉각 시스템도 안심할 수 있습니다. 원래 뜨거워질 필요가 없는 벽들을 냉각시키느라 에너지를 낭비하지 않아도 됩니다.
하지만 단점도 있습니다…
이건 마법의 지팡이가 아닙니다. 에너지를 너무 집중시키면, 정확하게 조정되지 않으면 “열점”이 생길 수 있습니다.
장착용 브라켓은 반드시 튼튼해야 합니다. 램프가 몇 밀리미터만 움직여도 목표 지점을 놓칠 수 있으며, 웨이퍼 전체에 고르지 않은 열이 분포될 수 있습니다.
제 조언은, 램프를 교체한 후에 반드시 보정 작업을 하는 것입니다. 1분 정도밖에 걸리지 않지만, 그래도 웨이퍼 전체를 망치는 것보다는 낫습니다.