Mengatur Suhu Wafer dengan Tepat di Pabrik Canggih
Jika Anda sedang membangun pabrik canggih, Anda pasti menyadari bahwa menunggu sesuatu rusak sebelum memperbaikinya merupakan hal yang sangat merepotkan. Anda perlu melihat apa yang terjadi saat ini. Di sinilah sistem inframerah (IR) berperan. Kita menggunakan sistem ini karena ia memungkinkan kita untuk mengukur suhu permukaan wafer tanpa perlu menyentuhnya sama sekali. Tanpa kontak fisik, maka tidak akan ada kontaminasi. Sangat sederhana.
Mengapa Metode Tanpa Kontak Sangat Penting
Coba pikirkan cara lama—penggunaan termokopel. Termokopel perlu menyentuh permukaan wafer, yang tentu saja akan menimbulkan masalah. Anda berisiko mengalami tegangan mekanis, atau bahkan partikel-partikel kecil yang jatuh ke permukaan wafer.
Dengan pengukuran suhu menggunakan inframerah, kita hanya perlu “mengamati” radiasi panas yang dipancarkan oleh wafer. Cara ini lebih bersih. Sensor-sensor ini menghasilkan sinyal yang dapat langsung ditransmisikan ke sistem PLC atau SCADA. Dengan begitu, Anda bisa mendapatkan peta suhu yang akurat. Ini merupakan satu-satunya cara yang efektif untuk mendeteksi “titik-titik dingin” saat proses pemrosesan termal berlangsung.
Membuat Data menjadi Berguna
Sebenarnya, sensor hanyalah perangkat keras belaka. Yang penting adalah bagaimana cara menghubungkannya dengan sistem data.
Kami merancang sistem inframerah ini agar tahan terhadap gangguan dari alat-alat seperti alat etching atau CVD. Gangguan elektromagnetik dari generator RF dapat merusak sinyal yang dihasilkan oleh sensor. Namun, setelah energi termal diubah menjadi data digital, Anda dapat membuat sistem umpan balik yang efektif. Jika suhu berubah sebesar 2°C saja, sistem akan segera mendeteksinya dan menyesuaikan pasokan daya secara instan. Anda bahkan tidak perlu repot-repot melakukan penyesuaian secara manual.
Kenyataan yang Harus Diterima
Tentu saja, semuanya tidak sempurna. Ada beberapa hal yang perlu diperhatikan.
Sensor inframerah sangat sensitif terhadap nilai emisivitas. Jika lapisan pelindung wafer berubah, atau gas di dalam ruang proses berputar, hasil pengukuran akan salah. Anda perlu meluangkan waktu untuk menyetel pengaturan perangkat lunaknya, atau risiko mendapatkan data yang tidak akurat.
Selain itu, pastikan jendela kaca tetap bersih. Jika kotoran menumpuk di port kaca, sinyal akan terhambat. Profil suhu pun akan menjadi tidak akurat. Pastikan kaca tetap bersih, agar semuanya berjalan lancar.