Hentikan kebiasaan mengubah peralatan canggih Anda menjadi “oven”.
Sebagian besar elemen pemanas standar memiliki daya panas yang berlebihan. Energi panas tersebut tersebar ke segala arah—360 derajat. Hal ini tentu menjadi masalah ketika digunakan pada peralatan semikonduktor yang memiliki ruang yang terbatas. Semua energi panas tersebut justru mengenai dinding bagian dalam mesin.
Akibatnya, dinding mesin menjadi sangat panas. Hal ini merupakan ancaman bagi keselamatan para operator, sekaligus pemborosan energi yang besar. Pada dasarnya, Anda sedang memanaskan bodi mesin, padahal yang seharusnya dipanaskan hanyalah wafer saja.
Cara mengatasinya cukup sederhana: gunakan lampu IR yang dapat mengarahkan energi panas ke titik yang diinginkan.
Bayangkan saja, ini sama seperti beralih dari lampu biasa ke senter. Alih-alih membiarkan energi panas tersebar ke mana-mana, lampu IR menggunakan lapisan reflektif atau cat khusus untuk mengarahkan energi panas tepat ke tempat yang dibutuhkan. Energi panas tersebut akan mengenai wafer atau substrat, dan tetap berada di sana. Dinding bagian dalam mesin tidak akan menyerap energi panas berlebih, sehingga bagian dalam mesin tidak akan terasa panas seperti di sauna.
Mengapa hal ini penting?
Saat memilih lampu IR, yang perlu diperhatikan hanyalah “sudut emisi”nya. Semakin sempit sudut emisinya, semakin sedikit radiasi yang tersebar. Hal ini sangat penting bagi mereka yang bertugas merawat peralatan atau memasukkan wafer ke dalam mesin. Dengan demikian, mereka tidak perlu khawatir akan terbakar setiap kali membuka panel mesin. Selain itu, sistem pendingin air di pabrik pun tidak perlu bekerja keras untuk mendinginkan dinding mesin yang sebenarnya tidak seharusnya panas.
Namun, ada juga kekurangannya…
Lampu IR bukanlah solusi ajaib. Jika energi panas dikonsentrasikan secara berlebihan, maka bisa saja tercipta “titik panas” jika posisi lampu tidak tepat. Bracket penyangga lampu harus sangat kokoh. Jika lampu bergeser sedikit saja, maka energi panas tidak akan sampai ke target yang diinginkan, atau pemanasan pada wafer akan tidak merata.
Saran saya: jangan lupa melakukan kalibrasi setelah mengganti lampu. Prosesnya hanya membutuhkan waktu sesingkat satu menit, tetapi hal ini lebih baik daripada harus membuang seluruh wafer yang telah diproses.