Mengapa kita meninggalkan penggunaan oven konvensional dan beralih ke sistem pemanasan inframerah
Selama ini, proses pengeringan dan pemanasan semikonduktor dilakukan dengan menggunakan oven konvensional yang besar. Namun, hal ini mulai berubah. Kini, kebanyakan orang beralih ke sistem pemanasan inframerah. Hal ini bukan hanya karena adanya aturan terkait penggunaan bahan-bahan bebas timbal, tetapi juga karena metode lama tersebut sebenarnya sangat boros energi.
Yang menarik adalah, sistem pemanasan inframerah tidak perlu memanaskan seluruh udara di dalam ruangan. Energi tersebut langsung ditransmisikan ke permukaan substrat yang akan dipanaskan.
Kelebihan sistem pemanasan inframerah
Bayangkan saja oven konvensional: Anda perlu waktu yang lama untuk memanaskan seluruh ruang oven agar beberapa wafer bisa dipanaskan. Itu merupakan pemborosan energi.
Dengan lampu inframerah, Anda menggunakan radiasi elektromagnetik yang ditujukan secara spesifik pada lapisan atau bahan perekat yang digunakan. Dengan demikian, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam hitungan detik saja. Itu berarti penghematan energi yang signifikan, serta udara tetap bersih. Tidak ada sisa-sisa pembakaran atau zat berbahaya yang terbentuk. Sistem ini sangat cocok untuk pabrik-pabrik modern yang mengutamakan kebersihan dan penggunaan bahan-bahan bebas timbal.
Faktor penting dalam pembuatan sistem ini
Anda tidak bisa sekadar memasukkan lampu-lampu tersebut ke dalam kotak kardus lalu menganggapnya sudah siap digunakan. Jika Anda bekerja di ruang bersih, maka desain penyangga lampu sangat penting. Kami menggunakan baja tahan karat berkualitas tinggi untuk membuat penyangga lampu tersebut. Desainnya harus sangat presisi. Mengapa? Karena jika proses pembuatannya salah, maka akan ada partikel-partikel kecil yang terlepas ke lingkungan sekitar. Satu butir debu saja sudah cukup untuk merusak sekelompok wafer silikon.
Untuk sumber panas, kami umumnya menggunakan lampu kuarsa-halogen. Lampu ini memiliki intensitas panas yang tinggi, ukurannya kecil, dan mampu meningkatkan suhu secara cepat.
Masalah yang mungkin muncul
Memang, sistem pemanasan inframerah sangat cepat. Namun, sistem ini juga bisa menjadi tidak stabil jika geometri reflektor tidak tepat. Hal ini akan menyebabkan adanya titik-titik panas yang tidak merata. Anda perlu memastikan jarak dan sudut lampu tepat agar panasnya tersebar merata di seluruh permukaan wafer. Jika tidak, wafer akan melengkung atau mengalami proses pemanasan yang tidak merata. Itu tentu merepotkan. Itulah mengapa kami sangat memperhatikan penyetelan PID yang akurat agar suhu tetap terkendali. Anda perlu berhati-hati agar suhu tidak melebihi batas yang ditentukan, karena hal itu akan merusak substrat tersebut.