בשלב הייצור, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי בממדים החשובים של הוופר ברמה של ננומטרים. שינוי כזה לא רק משפיע על תהליך הייצור – הוא גם הופך את הוופרים לחסרי תועלת. עיצבנו את נורת החימום של קנון כך שההתנהגות התרמית שלה תישאר יציבה, מרוץ אחר מרוץ, ללא שינויים.
מה באמת חשוב מאחורי הקלעים הנורה משתמשת במעטפת קוורץ עם חוט הלוגן או NIR, שמאפשרית תגובה מהירה והפקת אנרגיה סדירה. כך נשמרת אחידות טמפרטורה גבוהה – ±0.1°C ברמת הוופר – כך שניתן לחזור על תהליך האפייה שוב ושוב. המערכת נשארת נקייה: היא תואמת סטנדרטים של חדרי עבודה נקיים מסוג 1–100, ללא יצירת חלקיקים ועם עיצוב אטום שמונע זיהום. צפיפות האנרגיה מתאימה לדרישות של משטחי החימום בתהליך הליתוגרפיה, עם התנגדות יציבה והפקת אנרגיה אחידה שנשמרת לאורך אלפי שעות. עיצבנו את הנורה כך שתוכל לעבוד 24/7, וכך יהיו פחות החלפות בלתי מתוכננות.
למה זה חשוב בתהליך הליתוגרפיה בתהליך הליתוגרפיה, הטמפרטורה אינה דבר שניתן לשלוט בו בקלות – זו מגבלה קשה. הנורה שלנו שומרת על הטמפרטורה הנכונה שהכימיקלים של הפוטורזיסט צריכים, מה שעוזר לשלוט בחוסר האחידות בגבולות הקווים ולהפחית את הצורך בתיקונים. הטמפרטורה נשארת יציבה, זמני העיבוד קצרים יותר, ויש פחות וופרים חסרי תועלת כתוצאה מאפייה יתר או לא מספיקה. צריכת האנרגיה נשארת תחת שליטה, מכיוון שהפרופיל האנרגטי של הנורה יעיל ויציב, עם שינויים קטנים בין המרוצים השונים. כשהאפייה יציבה, השינויים בטמפרטורה קטנים, וניתן לחזות את התוצאות.
מה צריך לעשות כדי שההתקנה והתחזוקה יהיו נכונים יש להתקין את הנורה בהתאם לממשק המדויק של קנון – ההספק, הבסיס והחיבורים חייבים להתאים. אם זה לא יקרה, יהיו נקודות חם, והנורה תתבלה מהר יותר. יש לבדוק את המתח ואת זרימת האוויר לקירור; הנורה תעבוד כראוי רק אם התנאים התרמיים סביבה יהיו יציבים. יש לתכנן את ההחלפות בהתאם לתחזוקה המונעת, כדי שלא להיתקל בעצירות בלתי צפויות. יש לוודא תמיד שסוג הנורה תואם את גרסת המכונה, כדי לשמור על עקביות בתהליך הייצור.