במפעלי הייצור, האיכות תלויה לעתים קרובות בטמפרטורה. שינוי של חצי מעלה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט עלול לגרום לשגיאות ברוחב הקווים, שגיאות שנשארות גם לאחר תהליכי החיתוך וההטמעה. במערכות CSP ברמת הוואפר, אותו פרמטר תרמי שולט גם בתהליכי האידוי של החומרים ובתהליך ההתכה של החוליות. מה שנדרש הוא חימום חוזר, שיבוצע שוב ושוב, מבלי שהטמפרטורה תשתנה.
להלן הדברים החשובים מבחינה טכנית: יצרנו את מערכת החימום ברמת הוואפר עם שליטה תרמית מדויקת – יציבות של ±0.1°C, ואחידות בכל שטח הוואפר. המערכת משתמשת ברכיבי אינפרא-אדום בגלים קצרים ובאזורי חימום מבודדים באמצעות קוורץ. המערכת מתאימה לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100; היא משתמשת בחומרים עם פליטה נמוכה של גזים, ושומרת על החדר סגור כדי שמספר החלקיקים יישאר קבוע. אין צורך בשגיאות – זו המטרה של העיצוב. כל אזור במערכת נשלט באופן אוטומטי, כך שתהליכי החימום יתבצעו בצורה אחידה, ללא שינויים בטמפרטורה.
למה זה עובד בפועל: ניתן להשתמש במערכת זו לייבוש הוואפר, לחימום הפוטורזיסט, לחימום החומרים המשמשים לאריזה, ולייבוש לאחר הניקוי. בתהליכי ליתוגרפיה, המערכת מאפשרת חימום אחיד, כך שזוויות הקווים נשארות בתוך הטווח המותר. בתהליכי אריזה, המערכת מחממת את החומרים המשמשים לאריזה ומכינה את החוליות לתהליך ההתכה, מבלי לגרום לשינויים לא רצויים בטמפרטורה. התוצאה היא פחות צורך בתיקונים, יציבות ברמת התקלות, וזמני עבודה צפויים. המערכת יעילה מכיוון שמשקלה קטן והתגובה שלה מהירה; בנוסף, העבודה שלה מתבצעת באמצעות אזורים מודולריים ורכיבים שניתן להחליפם בשטח.
כמה דברים שצריך לזכור: המערכת קומפקטית וניתן לשלב אותה במערכות סטנדרטיות, אך ההתאמה שלה למישור הוואפר דורשת דיוק רב. יש להתחשב בדיוק של פחות ממילימטר אחד, ויש לבדוק את הפרמטרים התרמיים בקצוות הוואפר – שם השגיאות עלולות להיות גדולות ביותר. שימוש בני�трוזן כגז לניקוי משפר את הדיוק בתהליכים שרגישים ללחות, ומאריך את חיי הרכיבים.