دیگر اجازه ندهید تجهیزات باکیفیت خود را به یک فر تبدیل کنید!
اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، مقدار گرمای تولید شده بسیار زیادی دارند؛ این گرما در تمام جهات پخش میشود. وقتی که با تجهیزات نیمههادی کار میکنید، این موضوع مشکلساز میشود؛ چرا که تمام این گرمای اضافی به دیوارههای داخلی دستگاه برخورد میکند.
نتیجه چیست؟ دیوارههای داخلی دستگاه بسیار گرم میشوند. این موضوع هم برای اپراتورها خطرناک است و هم منجر به هدررفت انرژی میشود. در واقع، شما در حال گرم کردن بدنه دستگاه هستید، در حالی که تنها چیزی که برای شما اهمیت دارد، ویفرهای مورد استفاده است.
راهحل بسیار ساده است: استفاده از لامپهای IR جهتدار.
میتوانید آن را مانند تغییر از لامپهای معمولی به فلاشلامپ در نظر بگیرید. در حالی که لامپهای معمولی گرما را در همه جا پخش میکنند، لامپهای IR جهتدار از پوششهای بازتابنده برای هدایت انرژی به محل دقیق مورد نیاز استفاده میکنند.
انرژی به ویفر یا سطح مورد نظر برخورد کرده و در آنجا باقی میماند؛ بنابراین دیوارههای داخلی دستگاه گرم نمیشوند.
چرا این موضوع مهم است؟
وقتی که این لامپها را انتخاب میکنید، تنها چیزی که اهمیت دارد، «زاویه انتشار نور» است؛ هرچه پرتو نور متمرکزتر باشد، تشعشعات اضافی کمتری وجود خواهد داشت.
برای کسانی که مسئول نگهداری تجهیزات یا بارگذاری ویفرها هستند، این موضوع بسیار مهم است؛ چرا که دیگر نیازی نیست هر بار که پانلهای دستگاه را باز میکنند، مراقب سوختگی باشند. علاوه بر این، سیستمهای آب سرد در تجهیزات شما نیز میتوانند استراحت کنند؛ چرا که دیگر نیازی نیست برای خنک کردن دیوارههایی که اصلاً نباید گرم باشند، تلاش کنند.
مشکلات احتمالی…
البته، این راهحل جادویی نیست؛ وقتی که انرژی را به این شکل متمرکز میکنید، اگر چیزها کاملاً در جای خود قرار نگیرند، ممکن است نقاط گرم ایجاد شود.
براکتهای نصب لامپها باید بسیار محکم باشند؛ اگر لامپ حتی چند میلیمتر هم جابجا شود، ممکن است هدف مورد نظر را از دست بدهید یا گرمایش ناهمواری روی ویفر ایجاد شود.
توصیه من این است که پس از تعویض لامپ، حتماً کالیبراسیون آن را انجام دهید؛ این کار فقط یک دقیقه طول میکشد، اما میتواند از خراب شدن کل محموله ویفرها جلوگیری کند.