ফ্যাব ফ্লোরে, ওয়েহারের তাপমাত্রা ০.১°C পরিবর্তিত হলেই এর ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো ন্যানোমিটার পরিমাণে পরিবর্তিত হয়ে যায়; ফলে পার্টিকেলের সংখ্যাও বৃদ্ধি পায়। সাধারণ হটপ্লেট ও কনভেকশন ওভেনগুলো সঠিকভাবে তাপ নিয়ন্ত্রণ করতে অক্ষম; ফলে ওয়েহারে তাপীয় অসমতা দেখা দেয়। ঠিক এই সমস্যার সমাধানেই নিয়ার-ইনফ্রারেড (NIR) ওয়েহার ড্রায়ারটি তৈরি করা হয়েছে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
NIR ওয়েহারকে সরাসরি উত্তপ্ত করে; চেম্বারকে নয়। ফলে ৩০০ মিমি এলাকায় তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে। প্রতিক্রিয়ার সময়ও খুব কম হয়; আর তাপীয় নিয়ন্ত্রণও অত্যন্ত ভালো হয়। ফটোরেসিস্টের গুণমানও ধারাবাহিক থাকে; আর ব্যাচ সাইজ পরিবর্তিত হলেও বেকিং প্রক্রিয়াটি অপরিবর্তিত থাকে। এই সিস্টেমটি ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০ এর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; যেখানে কোনো ধরনের পার্টিকেল উৎপন্ন হয় না। রিলায়াবিলিটি মাপা হয় ২৪/৭ অপারেশনের মাধ্যমে; আর হিটারের জীবনকালও সাধারণ ত্রৈমাসিক সার্ভিসিং চক্রের চেয়ে অনেক বেশি হয়।
লিথোগ্রাফিতে এটি কেন কার্যকর?
সলভেন্টগুলো সঠিকভাবে বের করতে হলে ধারাবাহিক সফট বেকিং প্রয়োজন; আর রেজিস্টকে সঠিকভাবে সেট করতে হলে প্রিডিক্টেবল হার্ড বেকিং প্রয়োজন। NIR এই ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে; তাপমাত্রা দ্রুত স্থিতিশীল হয়, সাইকেল টাইম কম হয়, আর প্রতি ওয়েহারে ব্যবহৃত শক্তিও কম হয়। ফলে প্রক্রিয়াটি আরও কার্যকর হয়; রিওয়ার্কিংয়ের পরিমাণ কমে যায়, CD কন্ট্রোলও ভালো হয়। এটি অ্যাডভান্সড নোডগুলোর জন্যও উপযুক্ত; কারণ সেখানে তাপীয় অসমতা খুবই গুরুত্বপূর্ণ।
কিছু ব্যবহারিক নোট:
NIR-এর জন্য ওয়েহারের সাথে সরাসরি দৃষ্টিসংযোগ প্রয়োজন; আর রিফ্লেক্টিভিটিও নিয়ন্ত্রণ করা দরকার। তাই ওয়েহার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য বিশেষ ব্যবস্থা নেওয়া দরকার—বিশেষ করে যদি কোনো মাল্টি-স্ট্যাক বোট থাকে। আর স্পেকট্রাল স্টেবিলিটি বজায় রাখতে ক্লিন পাওয়ার ও নিয়ন্ত্রিত লাইন রিপল প্রয়োজন। এই শর্তগুলো পূরণ হলেই ড্রায়ারটি সঠিকভাবে কাজ করে। কিন্তু প্রাথমিক লেআউটটি সঠিকভাবে করা অপরিহার্য—এই ধাপটি বাদ দেওয়া যাবে না।