ফ্যাব ফ্লোরে, SRD চক্র হল যেখানে উৎপাদন হয়—অথবা ধীরে ধীরে ক্ষয় হয়। এমন একটি রিন্স যা মাইক্রো-ড্রপলেট রেখে যায়, অথবা এমন একটি ড্রাই যা ওয়েফারে চাপ সৃষ্টি করে, তা ত্রুটি ও বর্জ্যে পরিণত হয়। আপনার Spin Rinse Dryer-এ থাকা ইনফ্রারেড ল্যাম্পটি শুধুমাত্র তাপ নয়। এটি সেই থার্মাল অ্যাকচুয়েটর যা ড্রাইং সীমা নির্ধারণ করে। আউটপুট যদি বিচ্যুত হয় বা ইউনিফর্মিটি ভেঙে যায়, তাহলে আপনি লিথোগ্রাফি এবং ফোটোরেসিস্ট প্রসেসিংয়ে নির্ভর করা পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা হারিয়ে যাবে।
এটাই আমরা SRD ইনফ্রারেড ল্যাম্পের জন্য তৈরি করেছি: দ্রুত প্রতিক্রিয়াশীল কোয়ার্টজ এনভেলপে শর্ট-ওয়েভ NIR এমিটার, যা দ্রুত থার্মাল র্যাম্প এবং কঠোর steady-state নিয়ন্ত্রণের জন্য টিউন করা। আপনি ড্রাইং উইন্ডোর মধ্যে ±0.1°C এর মধ্যে ওয়েফার-লেভেল তাপমাত্রা ইউনিফর্মিটি পাবেন, এবং রিন্স ট্রান্সিয়েন্টের পরে সাব-সেকেন্ড রিকভারি। অ্যাসেম্বলিটি Class 1–100 ক্লিনরুম ব্যবহারের জন্য রেট করা হয়েছে, কম আউটগ্যাসিং উপাদান এবং পার্টিকেল শেডিং কমানোর জন্য ডিজাইন করা জ্যামিতি সহ। আউটপুট 5,000+ ঘণ্টারও বেশি সময় ধরে 1% এর মধ্যে থাকে, এবং স্পেকট্রাল প্রোফাইল পানির এবং সারফেস ফিল্মের শোষণের সাথে মেলানো হয়েছে—তাই শক্তি বাষ্পীভবনে যায়, ওয়েফার গরম করার জন্য নয়।
SRD-তে, ল্যাম্পকে স্পিন ডায়নামিক্স বা রিন্স কেমিস্ট্রির সঙ্গে হস্তক্ষেপ না করে পুনরাবৃত্তিযোগ্য তাপ সরবরাহ করতে হবে। আমাদের প্রোফাইল ওয়েফারকে এমন থার্মাল বাজেটের মধ্যে রাখে যা ফোটোরেসিস্ট রিফ্লো বা প্যাটার্ন কোলাপস প্রতিরোধ করে, সাথে রিন্স অবশিষ্টাংশ দ্রুত এবং পরিষ্কার করে। এর ফলে পুনরায় কাজের সংখ্যা কমে, ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণ স্থিতিশীল থাকে, এবং চক্র সময় পরিকল্পনা করা যায়। ল্যাম্প দ্রুত সেটপয়েন্টে পৌঁছায় এবং ওভারশুট ছাড়াই ধরে রাখে, যার ফলে শক্তি ব্যবহার কমে এবং দীর্ঘ এমিটার লাইফ রক্ষণাবেক্ষণ উইন্ডো ও স্পেয়ার স্টক কমায়।
ল্যাম্পের পারফরম্যান্স সরাসরি SRD চেম্বারের জ্যামিতি এবং স্পিন গতি দ্বারা প্রভাবিত হয়। আমরা ল্যাম্পের ফোকাল প্যাটার্নকে ওয়েফার পাথের সাথে মেলাই, কিন্তু যদি আপনি লেগ্যাসি SRD টুলস রেট্রোফিট করেন, তবে অপটিক্স বা মাউন্টিং প্লেটে ছোটখাটো পরিবর্তনের প্রয়োজন হতে পারে। ইনস্টলেশন পরিকল্পনা করুন ক্লিনরুমের এয়ারফ্লো এবং থার্মাল লোড অনুসারে—ল্যাম্প গরম চলে, এবং লোকাল এক্সহস্টের আকার চেম্বারের তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখতে পর্যাপ্ত হতে হবে। একবার সঠিকভাবে এলাইন হয়ে গেলে, নিয়মিত পিরোমিটার দিয়ে আউটপুট যাচাই করলেই হয়। পুনরায় ক্যালিব্রেশন দরকার হয় না। শুধুমাত্র ডেটা।