ভেজা অবস্থায় রানার প্রক্রিয়ায়ই উৎপাদনের হার কমে যায়। রানিং-সহায়তায় শুকানোর সময় যদি তাপমাত্রা অসমান থাকে, তাহলে ওয়েটারমার্ক, আটকে থাকা কণাগুলো, এবং নিয়ন্ত্রণের বাইরে থাকা ফোটোরেজিস্ট সমস্যাগুলো দেখা দেয়। আপনার প্রয়োজন হলো নির্ভরযোগ্য, স্থানীয়ভাবে নিয়ন্ত্রিত ও পরিষ্কার তাপ।
ইনফ্রারেড হিটিংয়ের নির্ভুলতা: সাব-মিলিমিটার মাত্রায় ঐক্যতা ও পুনরাবৃত্তি সম্ভব
আমরা ওয়াটারপ্রুফ ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি; এগুলো সাব-মিলিমিটার মাত্রায় নিয়ন্ত্রণ করে স্থিতিশীল তাপক্ষেত্র তৈরি করে। ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা প্রতিবারই নির্ধারিত মান অনুযায়ী থাকে। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড দ্রুত তাপ সরবরাহ করে; ফলে ওয়েফার দ্রুত ঠান্ডা হয় এবং নিয়ন্ত্রণও ভালো হয়। পরিসংখ্যান অনুযায়ী, ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর প্রক্রিয়া-থেকে-প্রক্রিয়ায় পুনরাবৃত্তির হারও ভালো থাকে।
রানিং স্টেশনে এটি কেন কার্যকর?
রানিং প্রক্রিয়ায় তাপ সরবরাহ করার সময় অবশ্যই নির্ভুলতা ও নিয়ন্ত্রণ থাকতে হয়। ল্যাম্পগুলো কোনো কণা নির্গত করে না; আর ওয়াটারপ্রুফ কেসগুলো উচ্চ-চাপযুক্ত জল ও রাসায়নিক পদার্থগুলোকে সহ্য করতে পারে। ফলে চক্র সময় কমে যায়; আর শক্তি ব্যবহারও কমে যায়। কম পুনর্কাজ ও কম অপচয় হয়; আর প্যাটার্নগুলোও অক্ষত থাকে।
ইনস্টলেশন ও অপারেশনের নির্দেশাবলী
ইনস্টলেশনের সময় নির্দিষ্ট মানদণ্ড মেনে চলতে হয়। ঐক্যতা বজায় রাখতে ল্যাম্পের রশ্মিকে ওয়েফারের সমতলে ±0.5 মিমি এর মধ্যে রাখতে হয়। ল্যাম্পগুলো ডিইওনাইজড জল ও সাধারণ রানিং রাসায়নিকগুলোর জন্য তৈরি; কিন্তু ক্লোরাইড-সমৃদ্ধ বা অত্যন্ত আক্রমণাত্মক দ্রবণগুলোর জন্য আরও গভীরভাবে পর্যালোচনা করা প্রয়োজন। নিয়মিতভাবে ইন্টেন্সিটি ও তাপমাত্রা পরীক্ষা করা উচিত; কারণ স্থিতিশীল ল্যাম্পগুলোতেও সময়ের সাথে সাথে পুনরাবৃত্তির হার কমে যেতে পারে।