Precisie IR sensor voor wafers
Stoppen met wachten op je verwarmingsapparaten: waarom IR beter is dan geforceerde luchtcirculatie bij het verwerken van wafers
Als je al eens bezig...
Temperatuursensor voor wafergereedschap
Het juiste temperatuurniveau van de wafer vaststellen in een smart fabriek Als je een smart fabriek bouwt, hebt je vast al gemerkt dat het een...
MEMS sensorwaferdroogheater
Laat je droogproces geen risico worden Wanneer je MEMS-sensoren na een chemische reiniging droogt, speel je met vuur. Er zitten namelijk...
Reflector voor wafer curinglamp
Het goed opdrogen van wafers: het gaat allemaal om de reflectie Wanneer je wafers laat drogen, is het niet zomaar ‘verhitten’. Je beheerst eigenlijk...
Energieefficiënte plakverwarmer
Waarom we zo veel aandacht besteden aan de elektrische veiligheid van warmtebronnen voor waferverwarmingen Wanneer je met silicium werkt, bestaat er...
Online reserveonderdelen voor waferverwerking
Op de productielijn kan een lichte afwijking van maar half een graad al zorgen voor problemen met het ontwerp van de chip. Er is dus behoefte aan een...
Droger voor halfgeleiderchips in het nabije infrarode gebied (NIR)
Op de productielijn kan een verschil van 0,1°C op het oppervlak van de wafer ertoe leidden dat cruciale dimensies met enkele nanometers veranderen....
Infraroodkwartslamp voor wafer
Op de productielijn is het belangrijk om precies te weten hoe alles werkt. Een verschil van zelfs maar een fractie van een graad in de temperatuur...
Verwarmer voor flexibele elektronische wafer
Op de productielijn wacht die flexibele elektronische schijf op een zachte verhittingssessie, zodat de dikte van de fotoresist nauwkeurig kan worden...
Waferniveau CSP (Chip Scale Package) verwarmer
Op de productielijn hangt de kwaliteit vaak af van de temperatuur. Een verschil van een halve graad tijdens het verhitten van de fotoresist kan...
Veiligheidsafstand voor het verwarmen van wafers
Op de lithografievloer draagt een 300mm wafer duizenden dies, en elke seconde telt mee voor het thermisch budget. Een soft bake die zelfs 0,3°C...