MEMS sensorwaferdroogheater
Laat je droogproces geen risico worden Wanneer je MEMS-sensoren na een chemische reiniging droogt, speel je met vuur. Er zitten namelijk...
Lab on a chip droogverwarmingselement
Op de lithografievloer weet u hoe het gaat. Een temperatuurschommeling van minder dan 1°C tijdens de soft bake kan ongemerkt een lijnbreedtefout...