Stop de scherven: behoud de veiligheid van je wafers bij defecte lampen
Laten we eerlijk zijn: een kapotte infraroodlamp in een productiefabriek is geen klein probleem. Het is een nachtmerrie.
Wanneer een kwartstubes onder zware belasting kapotgaat, raak je niet alleen een lamp kwijt. Er vallen ook glasfragmenten en wolfraamfilamenten op je wafers terecht. Op deze manier kan je in een paar seconden een hele partij wafers verliezen. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen tijdens het droogproces.
Waarom gaan deze lampen eigenlijk kapot?
Meestal komt het door thermische schokken of door slijtage van de elektroden. In een situatie met hoge belasting gaan deze lampen voortdurend aan en uit. De kwartstube wordt dan steeds groter en kleiner.
Als de wand van de kuwartsbuis niet perfect recht is, stapelt zich spanning op op één plek – tot er uiteindelijk een breuk ontstaat.
Oplossingen
Om dit te voorkomen, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge kwaliteit, met een zeer nauwkeurige tolerantie voor de wanddikte. Dit zorgt ervoor dat de hitte gelijkmatiger wordt verspreid, zodat de buis niet hoeft te breken.
Een extra veiligheidslaag
We vertrouwen niet alleen op de sterkte van het glas. We voegen nog een extra laag toe. We wikkelen de lampen in een speciale huls die het infrarode licht doorlaat, maar de scherven tegenhoudt. Denk erbij aan een soort veiligheidswindscreen. Als de lamp kapotgaat, vangen de scherven zich op in deze huls, zodat ze de productiekamer niet kunnen raken.
Andere oplossingen
We gebruiken ook keramische-metaalzegels aan de uiteinden van de buis. Deze zegels zijn zeer sterk. Zelfs als de druk van het gas toeneemt, blijft de lamp intact en explodeert deze niet.
De nadelen
Er zijn ook nadelen. Door het gebruik van zulke hulzen en sterke zegels wordt het geheel wat groter. Je moet dus controleren of alles nog past in je apparatuur. Bovendien wordt er een beetje van het infrarode licht opgeslokt – meestal ongeveer 3% tot 5%. Dat is geen groot probleem, maar je moet misschien de vermogensinstellingen iets aanpassen om de droogtijd op het gewenste niveau te houden.
Conclusie
We bouwen deze oplossingen voor een 24/7 productievergang. Zo krijg je de benodigde warmte, en kun je ’s nachts gerust slapen, wetende dat je productie veilig is.