Hentikan kecelakaan akibat pecahan kaca: Lindungi wafer Anda daripada kerosakan lampu
Sejujurnya, kerosakan pada lampu inframerah di fasiliti pengeluaran bukan sekadar masalah pemeliharaan biasa. Ia merupakan bencana sebenar.
Apabila tiub kuarsa pecah akibat beban yang berlebihan, bukan sahaja lampu tersebut rosak, tetapi serpihan kaca dan filamen tungsten juga akan jatuh ke atas wafer anda. Dengan cara ini, seluruh batch wafer boleh musnah dalam masa beberapa saat saja. Kami telah menghabiskan banyak masa untuk mencari cara untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku semasa proses pengeringan.
Mengapa lampu-lampu ini pecah?
Biasanya, ia disebabkan oleh gempa haba atau elektrod yang rosak. Dalam situasi beban yang tinggi, lampu-lampu ini akan hidup dan mati secara berulang-ulang. Tiub kuarsa akan mengembang, kemudian mengecut, dan seterusnya mengembang lagi. Jika dinding kaca tidak rata, tekanan akan terkumpul di satu tempat sehingga tiub tersebut pecah.
Langkah-langkah keselamatan
Kami tidak hanya bergantung pada ketahanan kaca tersebut. Kami juga menggunakan lapisan perlindungan tambahan. Kami membungkus lampu-lampu tersebut dengan selubung khas yang membolehkan cahaya inframerah melaluinya, tetapi menyekat serpihan kaca daripada masuk ke dalam bilik proses. Ini sama seperti cermin depan kereta yang melindungi pemandu. Jika lampu di dalamnya rosak, selubung tersebut akan menahan serpihan tersebut daripada mencapai wafer anda.
Selain itu, kami juga menggunakan penyumbat berbahan seramik dan logam di hujung tiub tersebut. Penyumbat ini sangat tahan lasak. Walaupun tekanan gas di dalam tiub meningkat, lampu tersebut masih akan kekal utuh dan tidak meletup.
Kompromi yang perlu dipertimbangkan
Masalahnya, penggunaan selubung dan penyumbat yang lebih kukuh akan menjadikan keseluruhan komponen lebih besar. Anda perlu memastikan bahawa ruang antara komponen-komponen tersebut masih cukup untuk memastikan segalanya masih berfungsi dengan baik.
Selain itu, selubung pelindung tersebut akan menyerap sedikit cahaya inframerah—sekitar 3% hingga 5%. Ini bukan masalah besar, tetapi anda mungkin perlu menyesuaikan tetapan kuasa sedikit agar kelajuan pengeringan tetap seperti yang diinginkan.
Kami mencipta komponen-komponen ini untuk digunakan dalam operasi 24/7 di fasiliti pengeluaran yang sebenar. Dengan cara ini, anda akan mendapat haba yang diperlukan, dan anda boleh tidur dengan tenang kerana yakin bahawa wafer anda selamat.