Di bilik pengeluaran wafer, perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pembakaran fotoresist sudah cukup untuk mengubah ketebalan garis pada permukaan wafer. Jika proses pengeringan tidak dilakukan secara seragam, ia akan menyebabkan masalah seperti adanya “watermark” pada permukaan wafer, yang seterusnya akan menurunkan kualiti wafer tersebut. Oleh itu, kita menggunakan sistem pemanasan berzon di kilang-kilang pengeluaran wafer canggih untuk mengelakkan masalah ini.
Apa yang benar-benar penting dari segi teknikalnya
Kita menggunakan sistem kawalan berzon yang bebas, menggunakan teknologi halogen atau NIR, agar suhu pada setiap bahagian wafer kekal dalam lingkungan ±0.1°C sepanjang proses pengeluaran. Peralatan digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, supaya tiada zarah berbahaya terhasil. Ini dapat dipastikan melalui pemantauan secara langsung, serta penggunaan bahan-bahan yang kurang mengeluarkan gas berbahaya.
Ketepatan proses pengeluaran tetap terjaga kerana adanya sensor berloop tertutup dan sistem kawalan yang tepat. Proses pembakaran fotoresist berlaku dengan cara yang konsisten, dari satu syif ke syif yang lain. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana hanya bahagian yang memerlukan pemanasan sahaja yang dipanaskan, dan prosesnya berlaku secara konsisten tanpa berlaku penyimpangan.
Mengapa kaedah ini efektif
Dalam proses litografi, sistem pemanasan berzon memastikan suhu pembakaran fotoresist kekal stabil, sehingga viskositi dan profil lapisan fotoresist juga kekal stabil. Dalam proses pembersihan dan pengeringan wafer, sistem kawalan berzon membantu menghilangkan titisan air dan “watermark” pada permukaan wafer. Ini membolehkan proses pengeringan berlaku lebih cepat, tanpa berlaku gangguan akibat perubahan suhu yang mendadak.
Dalam proses pembungkusan, sistem ini memastikan proses pengerasan bahan berlaku dengan cepat dan seragam. Masa yang diperlukan untuk proses pengeluaran berkurangan, dan kualiti produk tetap terjamin. Hasilnya, jumlah bahan buangan berkurangan, kualiti produk lebih stabil, dan kelajuan pengeluaran dapat dirancang dengan lebih baik.
Apa yang perlu diketahui terlebih dahulu
Untuk memasang sistem pemanasan berzon pada mesin sedia ada, perlu disesuaikan geometri ruang pengeluaran, alat-alat yang digunakan, serta sistem pengudaraan. Perlu juga disediakan masa yang cukup untuk proses integrasi dan kalibrasi. Anda perlu mengorbankan sedikit ruang untuk memasang pengawal suhu dan sensor tambahan. Namun, hasilnya adalah kawalan suhu yang lebih baik, dan masa operasi yang lebih lama.