ウェーハ乾燥時の石英管の破損を防ぐには 正直に言って、ウェーハ製造工程で赤外線ランプが壊れてしまうと、それは単なる「メンテナンスの問題」ではありません。まるで悪夢のようです。 ガラスの破片やハロゲンガスが直接ウェーハに降り注ぎます。一度壊れただけで、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。だか...

ファブの現場では、ウェーハ上での温度変動が0.1°Cでもあれば、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。また、粒子数も増加してしまいます。通常のホットプレートや対流式オーブンでは、ソフトベイクやハードベイクの過程で温度の均一性を保つのが難しく、ガス放出やレジストの表面問題が発生しやすくな...