חימום ממוקד למפעלי ייצור שבבים מתקדמים

במפעלי הייצור, שינוי של 1°C בטמפרטורת האפייה של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לשינוי ברוחב הקווים על הווה-השבב. תהליך ייבוש לא אחיד? זו הדרך שבה נוצרים...