מנורת אפיית פוטורזיסט

בקומת הליתוגרפיה לומדים מהר: אפייה רכה שסטייה של אפילו 0.3°C תתבטא כהטיית CD, ואפייה קשה שאינה חוזרת תכתיב את אותה סטייה בכל וייפר. אפיית הפוטורזיסט...