נורת חימום לטכנולוגיית ליתוגרפיה של קנון

בשלב הייצור, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי בממדים החשובים של הוופר ברמה של ננומטרים. שינוי כזה לא רק...