In der Fertigungshalle führt eine thermische Drift während des Trocknens des Photoresists oder während des Epitaxieprozesses nicht nur zu Beeinträchtigungen der Produktivität – sie verringert auch die Ausbeute. Es ist notwendig, dass die Wärme genau dort abgegeben wird, wo es der Prozessplan vorsieht – Zyklus für Zyklus.
Was technisch wichtig ist:
Unsere Infrarotlampen zur Erhitzung im Epitaxieprozess liefern schnelle, gezielte Energie mit präziser Steuerung. Kurzwelliges Infrarot dringt effektiv in dünne Schichten sowie auf die Oberfläche des Wafers ein – dadurch wird eine Reaktionszeit von unter einer Sekunde erreicht, und die Abkühlzeit ist kurz. In der beleuchteten Zone bleibt die Temperatur des Wafers innerhalb von ±0,1 °C konstant, und die Wiederholgenauigkeit bleibt über Tausende von Zyklen hinweg bei wenigen Grad.
Der Lampenkörper ist für Umgebungen der Klasse 1–100 geeignet. Er besteht aus Materialien mit geringer Gasemission und ist so konstruiert, dass keine Partikel freigesetzt werden. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5 % Abfall. Dadurch bleibt das thermische Gleichgewicht erhalten.
Warum das funktioniert:
Dasselbe Problem tritt immer wieder auf – beim Trocknen des Wafers, beim Weich- und Harttrocknen des Photoresists, bei der Aushärtung des Füllmaterials sowie beim Trocknen nach der Reinigung. Es wird also dringend eine vorhersehbare, schnelle und saubere Wärmeverteilung benötigt. Diese Lampen erreichen schnell die gewünschte Temperatur, halten diese konstant und schalten anschließend wieder ab. Dadurch wird der thermische Stress auf die Strukturen und Schichten reduziert.
Vorteile:
Die Ergebnisse sind eine bessere Ausbeute in der Lithografie, weniger Ausschuss durch unvollständige Aushärtung sowie kürzere Zykluszeiten – ohne Verstöße gegen die Spezifikationen. Der Energieverbrauch sinkt ebenfalls, da die Energie nur dann bereitgestellt wird, wenn sie benötigt wird – mit minimalem Standby-Verlust.
Wichtig zu wissen:
Diese Lampen sind kompakt und leistungsstark – daher ist eine effektive Wärmeableitung am Anschlusspunkt unerlässlich. Der Lampenkörper sowie die Basis müssen zur Größe des jeweiligen Geräts passen. Zudem muss die optische Ausrichtung auf die Zielzone korrekt sein. Die Stromversorgung sowie die Kühlung müssen ebenfalls zum Betriebszyklus passen.
Nach der Installation wird eine kurze Anlaufzeit benötigt, bis die Lampe stabil ist. Danach kann der Prozess weiterlaufen – und bleibt stabil.