Na mokré lavici dochází během kroku oplachování k postupnému úbytku výnosu. Chladné místo nebo nerovnoměrná teplota během procesu sušení pomocí oplachování? To způsobuje vznik vodních stop, částic, které zůstávají na povrchu, a také stres u fotorezistu, který nelze kontrolovat. Potřebujete tedy teplo, které je přesné, lokalizované a stabilní.
Přesnost infračerveného ohřevu: Jednotnost a opakovatelnost na úrovni submilimetrů
Používáme vodotěsné infračervené lampy, které vytvářejí stabilní tepelné pole s přesností na úrovni submilimetrů. Díky tomu teplota čipu odpovídá požadovanému profilu v každém cyklu. Krátkovlnné infračervené záření ohřívá rychle a s nízkou termickou hmotností, což zajišťuje rychlé ustálení teploty a lepší kontrolu procesu. Čísla potvrzují tu přesnost – jednotnost teploty na úrovni ±0,1 °C a opakovatelnost mezi jednotlivými cykly.
Proč to funguje ve stanici pro oplachování
Ohřev během fáze oplachování musí být přesný a probíhat v prostorách s úrovní čistoty 1–100. Lampa nevyzařuje žádné částice a vodotěsné pouzdro odolává vysokotlakému proudění vody a chemikálií, aniž by došlo ke ztrátě stability výkonu. Díky tomu se zkracují doby procesu – lampa dosahuje požadované teploty během několika sekund. Také se šetří energie, protože teplo je přizpůsobeno době oplachování – žádné plýtvání energií. Méně oprav, méně odpadu a suchý proces, který zachovává integritu vzoru.
Návod k instalaci a provozu
Tolerance montáže jsou velmi přísné. Chcete-li udržet jednotnost teploty, musíte udržet světelný paprsek v souladu s rovinou čipu v rozmezí ±0,5 mm. Lampa je určena k použití s deionizovanou vodou a standardními chemikáliemi na oplachování. Avšak řešení s vysokým obsahem chloridů nebo vysoce agresivní chemikálie vyžadují další posouzení materiálů. Je nutné pravidelně ověřovat intenzitu a teplotu – i u stabilních zdrojů se časem může objevit ztráta opakovatelnosti kvůli posunu senzoru.