Jak správně řešit ohřev v čisté místnosti třídy 100 bez znečištění Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, znáte pravidla. Dokonce i nepatrné...

V prostředí výroby stačí během procesu zahřívání fotorezistentu posun o půl stupně k tomu, aby se kritická dimenze změnila o několik nanometrů....