芯片实验室干燥加热器

在光刻车间，大家都清楚流程。软烘过程中亚1℃的温度波动可能悄无声息地导致线宽误差，这种误差只有在计量阶段才能显现。同样的热漂移会使晶圆干燥阶段出现颗粒和缺陷问题。我们开发了Lab-on-a-Chip干燥加热器，旨在从源头遏制这种漂移。 技术要点 该设备基于短波红外技术，由石英卤素发射器阵列驱动。闭...