Trên sàn lithography, bạn biết nó diễn ra như thế nào. Một sự thay đổi dưới 1°C trong quá trình nướng mềm có thể âm thầm in ra một lỗi độ rộng dòng chỉ xuất hiện ở giai đoạn đo lường. Sự trôi nhiệt tương tự có thể biến quá trình sấy wafer thành một vấn đề về hạt và khuyết tật. Chúng tôi đã xây dựng Lab-on-a-Chip Drying Heater để ngăn chặn sự trôi đó ngay từ đầu.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật Nền tảng dựa vào tia hồng ngoại sóng ngắn, được điều khiển bởi một mảng phát quang thạch anh-halogen. Pyrometry vòng kín giữ sự đồng nhất nhiệt độ ở mức ±0.1°C trên toàn bộ vùng hoạt động của wafer. Độ lặp lại nhiệt độ từ lô này sang lô khác đạt ±0.2°C, vì vậy hồ quang quang học của bạn luôn được duy trì ổn định.
Nó đã sẵn sàng cho phòng sạch với Class 1–100: bề mặt buồng bằng thép không gỉ 316L, vật liệu đạt tiêu chuẩn FM4910, và một hệ thống luồng không khí laminar giữ việc phát sinh hạt ở mức không trong suốt chu trình. Bộ gia nhiệt tích hợp SECS/GEM và hoạt động 24/7, với MTBF hơn 10,000 giờ, được hỗ trợ bởi tuổi thọ của bộ phát vượt quá 5,000 giờ.
Tại sao nó hoạt động ở những nơi quan trọng Thiết bị này nhắm thẳng vào bước sấy trong lab-on-a-chip—ngay sau khi rửa quay, trước khi nướng cứng. Nó làm khô mà không làm hư hại, không để lại dư lượng, và bảo tồn hồ quang quang học mà bạn đã thiết lập trong quá trình nướng mềm.
Điều này có nghĩa là ít phải làm lại hơn, kích thước quan trọng ổn định, và năng suất mà bạn có thể lên kế hoạch. Công suất tiêu thụ đủ thấp để có thể hiện trên đường điện, và diện tích đủ chặt để đặt bên cạnh các thiết bị phủ và công cụ theo dõi.
Dưới đây là những gì bạn cần lên kế hoạch Bạn sẽ cần một đường dây chuyên dụng 208–240 V, 16 A. Khối lượng nhiệt thấp, nhưng thời gian khởi động đạt đến tải cực đại cao. Buồng có thể xử lý các khay tiêu chuẩn 150 mm và 200 mm; 300 mm cần một bộ chuyển đổi khay.
Việc lắp đặt trong phòng sạch thường mất hai ngày, với đường ống không khí hồi được xác nhận. Một điểm đánh đổi: nếu bạn đẩy tốc độ tăng điểm đặt lên trên 10°C/s, hãy thêm một thời gian ổn định ngắn để giữ sự đồng nhất trong giới hạn quy định.