Ngăn chặn hiện tượng vỡ ống quartz trong quá trình sấy wafer Hãy thừa nhận rằng: khi bóng đèn hồng ngoại bị vỡ trong quá trình sản xuất wafer, đó...

Trong quy trình sản xuất, sự chênh lệch nhiệt độ chỉ 0,1°C trên bề mặt wafer cũng có thể khiến kích thước của wafer thay đổi vài nanomet – điều này...