فیبریکیشن لیول پر، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے یا ایپیٹیکسی عمل کے دوران حرارتی تغیرات نہ صرف پروڈکشن کی رفتار کو متاثر کرتے ہیں، بلکہ پروڈکشن کی کوالٹی کو بھی خراب کرتے ہیں۔ ضروری ہے کہ حرارت بالکل اسی جگہ پہنچے جہاں پروسیس کارڈ کے مطابق ضرورت ہے، چاہے وہ کوئی بھی چکر ہو۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں: ہمارے ایپیٹیکسی ہیٹنگ انفراریڈ لیمپ، تیز رفتار اور درست سمت میں توانائی فراہم کرتے ہیں۔ شارٹ-ویو انفراریڈ شعاعیں پتلی فلموں اور ویفر کی سطح میں بہتر طریقے سے جذب ہوتی ہیں، جس کی وجہ سے فوری ردِعمل ملتا ہے اور ویفر کا درجہ حرارت جلد ہی کم ہو جاتا ہے۔ روشن کیے گئے علاقے میں ویفر کا درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور ہزاروں چکروں کے بعد بھی یہی حال رہتا ہے۔
لیمپ کا ڈھانچہ کلاس 1–100 کے صاف ماحول کے لئے مناسب ہے؛ اسے کم گیس خارج کرنے والے مواد سے بنایا گیا ہے، اور اس کا ڈیزائن ایسا ہے کہ اس سے کوئی ذرات خارج نہ ہوں۔ لیمپ 5,000 گھنٹوں تک مستقل طور پر کام کرتا رہتا ہے، اور اس کی کارکردگی میں 5% سے بھی کم کمی واقع نہیں ہوتی، لہذا حرارتی توازن برقرار رہتا ہے۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟ یہی ضرورت ویفر کو خشک کرنے، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے، پیکیجنگ کے عمل میں، اور صفائی کے بعد خشک کرنے کے عمل میں بھی موجود ہے – یعنی قابل پیشن گوئی حرارت، تیز رفتار اور صاف طریقے سے فراہم کی جانے والی حرارت۔ یہ لیمپ فوری طور پر مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتے ہیں، اور پھر وہاں ہی رہتے ہیں۔ اس سے پیٹرنوں اور فلموں پر حرارتی دباؤ کم ہو جاتا ہے۔
فوائد: لیتھوگرافی میں بہتر پروڈکشن کوالٹی، ناقص عمل کی وجہ سے ہونے والے نقصانات کم ہونا، اور مطلوبہ معیارات کے مطابق کم وقت میں عمل مکمل ہونا۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ توانائی صرف ضرورت کے وقت ہی فراہم کی جاتی ہے، اور بیک اپ حالت میں کم توانائی خرچ ہوتی ہے۔
جاننے کی باتیں: یہ لیمپ چھوٹے اور طاقتور ہیں، لہذا فکسچر کے انٹرفیس پر حرارتی انتظام ضروری ہے۔ لیمپ کے ڈھانچے اور بیس کو ٹول کے سائز کے مطابق ہی استعمال کرنا چاہیے، اور آپٹیکل الائنمنٹ کو بھی درست رکھنا ضروری ہے۔ پاور سپلائی اور کولنگ سسٹم کو بھی ڈیوٹی سائیکل کے مطابق ہی استعمال کرنا چاہیے۔
نصب کرنے کے بعد تھوڑا وقت لگتا ہے تاکہ لیمپ استحکام حاصل کر سکے۔ ایک بار جب لیمپ استحکام حاصل کر لے، تو پروسیس جاری رہتا ہے۔