فیبریکیشن فلور پر، ویفر کے اوپر 0.1°C کا فرق بھی اس کے اہم ابعاد کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کر سکتا ہے؛ جس کی وجہ سے ذرات کی تعداد میں اضافہ ہو جاتا ہے۔ عام ہاٹ پلیٹس اور کنوکشن اوونز، نرم بیکنگ اور سخت بیکنگ کے دوران حرارتی یکسانیت کو برقرار رکھنے میں ناکام رہتے ہیں؛ جس کی وجہ سے گیسوں کا اخراج یا رزسٹ سکن سے متعلق مسائل پیدا ہوتے ہیں۔ یہی وجہ ہے کہ نیئر انفراریڈ (NIR) ویفر ڈرائر تیار کیا گیا، تاکہ ان مسائل کو حل کیا جا سکے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
NIR، ویفر کو براہِ راست گرم کرتا ہے، نہ کہ پورے چیمبر کو۔ اس طرح 300 ملی میٹر کے رقبے میں ویفر کے ابعاد ±0.1°C کے اندر یکساں رہتے ہیں؛ ردِعمل کا وقت بہت کم ہوتا ہے، اور حرارتی کنٹرول بہتر ہوتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی خصوصیات ہر بار یکساں رہتی ہیں، اور بیچ کے سائز میں تبدیلی کے باوجود بھی بیکنگ کے عمل میں کوئی تبدیلی نہیں آتی۔ یہ سسٹم کلین روم کلاس 1-100 کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے؛ رابطے کے مقام پر کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور گیسوں کو عملیہ سے دور رکھنے کے لئے خصوصی انتظامات کئے گئے ہیں۔ اس سسٹم کی قابلِ اعتمادی کو 24/7 کام کرنے کی صلاحیت سے ناپا جاتا ہے؛ ہیٹر کی عمر بھی بہت زیادہ ہوتی ہے، جس کی وجہ سے اس کی تبدیلی کی ضرورت بہت کم ہوتی ہے۔
یہی وجہ ہے کہ یہ سسٹم لیتھوگرافی میں کارگر ثابت ہوتا ہے۔ مناسب سولوونٹ نکالنے کے لئے مستقل نرم بیکنگ کی ضرورت ہے، اور رزسٹ کو مناسب حالت میں رکھنے کے لئے قابلِ پیشن گوئی سخت بیکنگ کی ضرورت ہے۔ NIR اس یکسانیت کو فراہم کرتا ہے؛ درجہ حرارت جلد ہی مستحکم ہو جاتا ہے، سائیکل کا وقت کم ہوتا ہے، اور ہر ویفر کے لئے استعمال ہونے والی توانائی کی مقدار بھی کم ہوتی ہے۔ اس کا نتیجہ یہ ہے کہ عمل میں کم تبدیلیاں ہوتی ہیں، CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور حرارتی عدم یکسانیت کی وجہ سے فضول مواد کی مقدار کم ہوتی ہے۔ یہ سسٹم اعلیٰ سطح کے لیتھوگرافی عملوں کے لئے بھی مناسب ہے، جہاں حرارتی حدود بہت کم ہوتی ہیں، اور ہر ڈگری بہت اہم ہوتی ہے۔
خریدنے سے پہلے کچھ عملی نکات:
NIR کے لئے ویفر تک براہِ راست رابطہ ضروری ہے، اور ریفلیکٹیوٹی کو بھی کنٹرول کرنا ضروری ہے؛ اس لئے سسٹم کی تیاری میں ویفر کی ساخت کو بھی مدِنظر رکھنا ضروری ہے، خاص طور پر ان ملٹی-اسٹیک بوٹس کو، جو شعاعوں کو روک سکتے ہیں۔ صاف بجلی کی ضرورت بھی ہے، تاکہ سپیکٹرل استحکام برقرار رہ سکے۔ جب یہ شرائط پوری ہو جائیں، تو یہ ڈرائر ایک “سیٹ-اینڈ-فورگیٹ” تھرمل سسٹم کے طور پر کام کرتا ہے۔ لیکن ابتدائی ترتیبات کو درست طریقے سے کرنا ضروری ہے؛ اس مرحلے کو نظر انداز نہیں کیا جا سکتا۔