На площадці з виробництва достатньо зміни температури під час обробки фоторезисту на 1°C, щоб це вплинуло на ширину ліній на пластині. Нерівномірний процес сушіння? Саме це призводить до появи „водяних слідів“, які значно знижують якість продукції. У сучасних заводах з виробництва пластин використовується регулювання температури в окремих зонах, щоб усунути такі проблеми на самому початку процесу.
Що насправді має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо незалежне керування температурою в окремих зонах за допомогою галогенних чи ІЧ-джерел, що дозволяє підтримувати однакову температуру на всій поверхні пластини в межах ±0,1°C протягом усього процесу. Обладнання розташовується у чистих кімнатах класу 1–100, що запобігає появі частинок – це підтверджується безпосереднім контролем та використанням матеріалів з низьким рівнем випаровування.
Повторюваність результатів забезпечується завдяки сенсорам з закритим циклом та контролю параметрів процесу – все відбувається однаково з партії в партію. Також зменшується споживання енергії: окремі зони нагріваються лише там, де це необхідно, а профілі нагріву залишаються стабільними.
Чому це має значення
У процесі літографії регулювання температури в окремих зонах допомагає підтримувати стабільну температуру під час обробки фоторезисту, що забезпечує стабільність його в’язкості та профілю покриття. Це також дозволяє контролювати якість покриття.
Під час чищення та сушіння пластин незалежне керування температурою у окремих зонах допомагає усунути непотрібні включення та „водяні сліди“. Це сприяє швидшому сушінню без появи теплових шоків.
Під час упакування це дозволяє швидко та рівномірно проводити процес затвердіння матеріалів – це скорочує час виробництва та забезпечує стабільність якості продукції.
Що потрібно знати заздалегідь
Щоб встановити систему регулювання температури в окремих зонах, потрібно врахувати геометрію камери, конструкцію кварцевих елементів та можливості вентиляції. Необхідно виділити час на інтеграцію обладнання та калібрування.
Для цього потрібно буде віддати трохи простору під додаткові контролери та сенсори. Але це призведе до кращого контролю температури та більшої стабільності виробництва.