Isıtıcılarınızı Beklemeyi Bırakın: Wafer İşleme Süreçlerinde IR’nin Zorunlu Hava Sistemlerinden Üstünlüğü
Eğer yarı iletken üretim süreçleriyle ilgileniyorsanız, “bekleme” durumunun ne kadar can sıkıcı olduğunu biliyorsunuzdur.
Çoğumuz zorunlu hava sistemlerine alışkınız. Sıcak gazı bir yüzeye üflüyor ve en iyisini umuyoruz. Ancak sorun şu ki bu yöntem çok yavaştır. Havanın ısınmasını bekliyoruz, ardından da o ısının silisyuma nüfuz etmesini bekliyoruz. Bu durum, üretim sürecinde zaman kaybına neden oluyor.
Sır, aracıları ortadan kaldırmaktır.
IR ısıtma yönteminde hava ile uğraşmıyoruz. Elektromanyetik radyasyon kullanarak waferin yüzeyine doğrudan enerji gönderiyoruz. Bu işlem ışık hızında gerçekleşir. Bir odanın “ısınmasını” beklemek zorunda kalmıyoruz; anahtarı çevirdiğimizde wafer anında bu enerjiyi emer.
Bir mühendis için bu büyük bir avantajdır. Eski hava sistemleri on dakika içinde istenen sıcaklığa ulaşabiliyorsa, hassas bir IR sistemi bunu genellikle saniyeler içinde yapabilir. Bu da gün içinde kazandığımız büyük bir zaman dilimidir.
Kontrol altında tutmak
Elbette, hızı kontrol edemezseniz bu tehlikeli olabilir. Kimse ani sıcaklık artışları yüzünden ürünlerin zarar görmesini istemez.
İşte bu yüzden sabit bir sıcaklık sağlamak için IR sensörleri kullanıyoruz. Sistem, yüzey sıcaklığını gerçek zamanlı olarak izler ve gerekirse gücü ayarlar. Böylece her şey düzenli kalır. Bu alanda 5 derecelik bir sıcaklık değişimi her şeyi mahvedebilir; bu yüzden böyle bir güvenlik önlemi çok önemlidir.
Ve bir de bonus olarak… Zemin alanınız artar. O büyük fanları ve odanın yarısını kaplayan havalandırma tesisatlarını ortadan kaldırabilirsiniz.
Eksileri
Ancak bu bir sihir değil. IR’ın bir dezavantajı vardır: Yöneldiği yönde etkilidir. Sıcak hava bir parçanın etrafını battaniye gibi sararken, IR sadece belirli bir yönde etkilidir. Eğer waferin şekli karmaşıksa veya üst üste konmuş parçalar varsa, soğuk noktalar oluşur. Lambaların yerleştirilmesi ve yansıtıcıların açısının doğru ayarlanması gerekiyor. Eğer ayarlamalar yanlış yapılırsa wafer bozulur. Başlangıçta biraz daha fazla planlama gerekiyor, ancak geometri doğru ayarlandığında hız, yapılan çabanın karşılığını verir.