Akıllı Fabrikalarda Wafer Sıcaklıklarını Doğru Algılamak
Eğer akıllı bir fabrika inşa ediyorsanız, bir sorunun ortaya çıkmasını bekleyip sonra onu düzeltmenin ne kadar zor olduğunu muhtemelen biliyorsunuzdur. Şu an neler olduğunu görebilmek gerekiyor. İşte bu noktada kızılötesi (IR) sistemler devreye giriyor. Bunları kullanmamızın sebebi, waferin sıcaklık dağılımını, waferle hiç temas kurmadan tespit edebilmemizdir. Hiçbir temas yok, kirlenme de olmuyor. Çok basit.
Neden Temassız Ölçüm Önemli?
Eski yöntemleri düşünün: Termokupllar. Bunların yüzeye temas etmesi gerekiyor ve bu da sorunlar yaratır. Mekanik stres riski vardır; hatta daha kötüsü, parçacıkların substratın üzerine düşmesi mümkündür.
Kızılötesi termometri sayesinde ise waferden yayılan termal radyasyonu “gözlemleyebiliriz”. Bu daha temiz bir yöntemdir. Bu sensörler, sinyalleri doğrudan PLC veya SCADA sistemlerine aktarır. Böylece gerçek zamanlı bir sıcaklık haritasına sahip olursunuz. Hızlı termal işlemler sırasında ortaya çıkan “soğuk noktaları” tespit etmenin tek gerçek yolu budur.
Verilerin Gerçekten Faydalı Hale Getirilmesi
Bir sensör tek başına sadece bir donanım parçasıdır. Asıl önemli olan, onu veri tabanına nasıl bağladığınızdır.
Bu kızılötesi sistemleri dayanıklı şekilde tasarlıyoruz. Aşındırma veya CVD işlemlerinin gürültülü ortamlar olduğunu biliyoruz; RF jeneratörlerinden gelen elektromanyetik parazitler sinyallerinizi bozabilir. Ancak termal enerjiyi dijital verilere dönüştürdükten sonra, işe yarar bir geri besleme döngüsü oluşturabilirsiniz. Eğer sıcaklık 2°C kadar değişirse, sistem bunu hemen fark eder ve güç kaynağını anında ayarlar. Hiçbir şey yapmanıza gerek yok.
Gerçekçi Bir Bakış
Elbette her şey mükemmel değil. Bazı trade-off’lar var.
Kızılötesi sensörler, yansıtma özelliğine karşı hassastır. Eğer waferin kaplamasını değiştirirseniz veya odadaki gazlar dönmeye başlarsa, ölçümleriniz yanlış olabilir. Yazılım ayarlarını kalibre etmek için zaman harcamanız gerekebilir; aksi takdirde yanlış verilerle uğraşmak zorunda kalırsınız.
Bir diğer nokta da pencerelerin temiz tutulmasıdır. Eğer kuvars portunda kir birikirse sinyaller engellenir. Böylece termal profiliniz bozulur ve baştan başlamak zorunda kalırsınız. Pencereleri temiz tuttuğunuzda her şey yoluna girer.