Üretim alanında, fotoresistin pişirilmesi sırasında meydana gelen yarım derecelik bir sapma bile, kritik ölçümleri nanometreler bazında değiştirebilir. Bu tür sapmalar sadece işlemi bozmakla kalmaz; aynı zamanda wafeleri de kullanılamaz hale getirir. Biz de Canon litografi ısıtıcılarını, her seferinde stabil bir sıcaklık aralığında çalışacak şekilde tasarladık; böylece sapmalar olmaz.
Asıl önemli olan şeyler
Bu ısıtıcılar, hızlı tepki verme ve sabit çıkış sağlayacak şekilde ayarlanmış halojen veya NIR filamanlara sahip kuvars kaplardan oluşur. Böylece sıcak bölgede mükemmel sıcaklık uniformitesi sağlanır; wafenin bulunduğu alanda sıcaklık ±0,1°C civarındadır. Böylece yumuşak ve sert pişirme süreçleri tekrar tekrar uygulanabilir. Ayrıca bu ısıtıcılar, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarına uygun olarak tasarlanmıştır; parça üretimi yoktur ve kirliliğin içeri girmesini engelleyen kapalı bir yapıya sahiptir. Güç yoğunluğu, litografi plakalarına uygun şekilde ayarlanmıştır; direnç ve radyasyon çıkışı binlerce saat boyunca sabit kalır. Biz, 24/7 çalışmayı destekleyecek ve planlanmayan arızaları azaltacak bir ömür sunacak şekilde bu ısıtıcıları tasarladık.
Litografide bunun neden önemli olduğu
Litografide termal koşullar kontrol edilebilen bir parametre değildir; bu, zorunlu bir kısıtlamadır. Bu ısıtıcılar, fotoresistin kimyasal reaksiyonlarının gerçekleşebileceği sıcaklığı korur; bu da hat kenarlarının düzgün kalmasına yardımcı olur ve yeniden işleme ihtiyacını azaltır. Termal stabilite artar, döngü süreleri kısalır ve aşırı pişirme veya yetersiz pişirme sonucu oluşan atıklar azalır. Enerji tüketimi de kontrollü kalır; çünkü radyasyon profilinin verimliliği ve stabilitesi yüksektir ve partiler arasında sapma olmaz. Pişirme işlemi tekrarlanabilir olduğunda, sapmalar azalır ve kalite kontrolü daha kolay hale gelir.
Kurulum ve bakım sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Kurulum, Canon’ın belirlediği standartlara göre yapılmalıdır; güç miktarı, taban yapısı ve bağlantı noktaları uyumlu olmalıdır. Aksi takdirde sıcak noktalar oluşur ve ısıtıcı erken bozulur. Gerilim ve soğutma havası da kontrol edilmelidir; ısıtıcı ancak çevresindeki termal koşullar uygun olduğunda doğru şekilde çalışır. Arızaların önlenmesi için değiştirme işlemleri planlanmalıdır. Ayrıca, işlem tutarlılığını korumak için ısıtıcı tipinin makine versiyonuyla uyumlu olduğundan emin olunmalıdır.