Hattın dışında, o esnek elektronik yonga, çizgi genişliğini kontrol etmek için gerekli olan sıcak işlemi bekliyor. Sıcaklıktaki birkaç ondalık derecelik değişiklik bile fotoresist profilini değiştirmeye yetiyor; böylece üretilen ürünlerde gizli kusurlar oluşabiliyor. Biz de bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için esnek elektronik yongalar için özel ısıtıcılar geliştirdik.
Altta yatan önemli faktörler
Kuvars-halogen kaynağı kullanılarak kısa dalga boylu kızılötesi ışınlarla işlem yapılır ve kapalı döngü kontrolü sayesinde yonganın aktif bölgesindeki sıcaklık ±0,1°C arasında sabit tutulur. Her işlem sonucunda elde edilen sonuçlar da ±0,05°C arasında tutulur; böylece her işlem diğerlerine benzer şekilde gerçekleşir. Isıtma bölgesi, 1–100 sınıfı temiz odalar için tasarlanmıştır; yüzey işlemleri ve kullanılan malzemeler, sürekli çalışma sırasında parçacık oluşumunu sıfıra indirmek için seçilmiştir. Yumuşak ve sert ısı işlemleri, sıkı termal kontrol altında gerçekleştirilir ve sistem her işlemi kaydeder ki böylece tam izlenebilirlik sağlanır.
Neden esnek elektronikler için uygundur
Bu tür yongalar ince, ısıl olarak hafif ve hassastır. Sabit ve düzenli bir ısı işlemi, tutarlı bir fotoresist kalınlığı, daha keskin kritik boyut kontrolü ve daha az litografi yeniden işlemi sağlar. Hızlı ısınma süreci, gereksiz bekleme zamanlarını azaltır; böylece üretim süresi kısalarak verimlilik korunur. Güç tüketimi, işlemin termal hacmine göre ayarlanır; bu da her yonga başına olan işletim maliyetlerini düşürür. Güvenilirlik ise, planlanmamış duruşların ve bakım gereksinimlerinin olmaması anlamına gelir.
Temiz çalışması için gerekli olanlar
Isıtıcının, lambanın çıkışını stabil tutmak ve sıcaklıkları güvenli seviyede tutmak için temiz ve kuru bir güç kaynağına ihtiyacı vardır. Standart taşıyıcılar ve arayüzlerle çalışır; ancak eski bir platforma entegre edilecekse, mekanik ve elektriksel güncellemeler gerekebilir. Bu güncellemeler, planlanmış bakım zamanlarında yapılmalıdır; üretim, kaybedilen saatler nedeniyle maliyet artışı yaşamamalıdır.