Na linii produkcyjnej różnica temperatury wynosząca 0,1°C na powierzchni płytki może spowodować zmianę jej kluczowych wymiarów o kilka nanometrów – co z kolei prowadzi do wzrostu liczby cząstek w powietrzu. Zwykłe elementy grzewcze i piecze konwekcyjne sprawiają trudności z utrzymaniem jednolitości temperatury podczas procesów suszenia, co skutkuje problemami związanych z wydzielaniem gazów lub uszkodzeniem powłoki fotorezystu. Właśnie dlatego został stworzony suszarka na podczerwień bliską – aby rozwiązać te konkretne problemy.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Suszenie za pomocą podczerwieni bliskiej odbywa się bezpośrednio na powierzchni płytki, a nie w całej komorze. Dzięki temu uzyskuje się jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C na powierzchni 300 mm, szybką reakcję systemu oraz lepszą kontrolę nad procesem suszenia. Profil temperatury fotorezystu pozostaje stabilny pomiędzy poszczególnymi partiami produktów, a parametry suszenia nie zmieniają się nawet przy zmianie wielkości partii. System ten jest przeznaczony do pracy w środowiskach klasy 1–100, gdzie nie występuje żadna emisja cząstek, a kanały odprowadzania gazów zapobiegają dostaniu się zanieczyszczeń do strefy procesowej. Niezawodność tego urządzenia jest mierzona czasem pracy bez przerw – 24/7, bez konieczności serwisowania. Żywotność elementów grzewczych sprawia, że okresy wymiany są znacznie dłuższe niż typowy kwartalny cykl.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w litografii? Potrzebny jest stały proces suszenia, aby efektywnie usunąć rozpuszczalniki, a także precyzyjne suszenie, aby uniknąć deformacji powłoki fotorezystu. Podczerwień bliska zapewnia taką regularność, szybką stabilizację temperatury, krótsze czasy procesu oraz mniejsze zużycie energii na jedną płytkę. Dzięki temu zmniejsza się liczba przetworzeń, poprawia się kontrola wymiarów płytek, a też zmniejsza się ilość odpadów spowodowanych nierównomiernościami termicznymi. To rozwiązanie nadaje się również do stosowania w zaawansowanych technologiach litograficznych, gdzie ogniwa termiczne są małe, a każdy stopień temperatury ma znaczenie.
Kilka praktycznych uwag przed dokonaniem wyboru: suszarka na podczerwień bliską wymaga bezpośredniego punktu widzenia na płytkę oraz kontrolowanego przebiegu światła. Dlatego przy projektowaniu konieczna jest uwzględnienie geometrii obsługi płytek, szczególnie w przypadku systemów z wieloma warstwami, które mogą zakrywać wiązkę światła. Ponadto potrzebna jest czysta energia o kontrolowanej amplitudzie fal, aby zapewnić stabilność spektralną. Gdy te warunki zostaną spełnione, suszarka będzie funkcjonować jako urządzenie, które można po prostu używać bez dodatkowych zabiegów. Ale nie można pominąć tego kroku na początku procesu montażu.