Na linii produkcyjnej jakość wyrobu często zależy od temperatury. Nawet niewielka odchylenie o pół stopnia podczas procesu suszenia fotoopornika może spowodować błędy w szerokości linii, które pozostają nawet po procesie wycinania i nanoszenia materiałów. W przypadku układów CSP na poziomie płytki krzemowej ten sam mechanizm termiczny kontroluje proces utwardzania materiałów oraz proces topnienia lutu. Potrzebna jest temperatura, która jest utrzymywana na tym samym poziomie – cykl po cyklu – bez żadnych zmian w punkcie równowagi termicznej.
Oto kluczowe aspekty techniczne: Stworzyliśmy agregat grzewczy na poziomie płytki krzemowej, który charakteryzuje się precyzyjną kontrolą temperatury: stabilnością na poziomie ±0,1°C oraz jednorodnością temperatury na całej powierzchni płytki. Do tego celu użyto elementów infraczerwonych o krótkiej długości fali oraz stref grzewczych izolowanych od kwarcu. System nadaje się do pracy w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100, wykorzystuje materiały o niskiej emisji gazów, a także zapewnia szczelność komory, dzięki czemu liczba cząstek pozostaje na stałym poziomie. Brak tworzenia się cząstek nie jest tylko hasłem – to cecha, której należy osiągnąć w procesie projektowania. Każda strefa jest kontrolowana w sposób zamknięty, więc profile procesów suszenia i utwardzania są realizowane zgodnie z ustalonymi normami, a nie w zależności od warunków panujących w pomieszczeniu.
Dlaczego to działa w praktyce? Może być używany do suszenia płytek krzemowych, suszenia fotoopornika, utwardzania materiałów ekranujących oraz suszenia płytek po procesie czyszczenia. W procesie litografii umożliwia precyzyjne suszenie płytek, dzięki czemu szerokość linii i kąty boczne pozostają w granicach dopuszczalnych wartości. W procesie pakowania służy do utwardzania materiałów ekranujących oraz przygotowania lutu do procesu topnienia, bez konieczności stosowania nadmiernych temperatur, które mogłyby uszkodzić struktury płytki. Rezultatem jest mniej prac naprawczych, stabilna liczba defektów oraz przewidywalny czas realizacji procesów. Jest to rozwiązanie efektywne, ponieważ masa urządzenia jest mała, a szybkość reakcji duża. Czas pracy urządzenia jest zwiększony dzięki modułowym elementom i możliwości wymiany elementów w terenie.
Kilka rzeczy, których należy pamiętać: Agregat grzewczy jest kompaktowy i może zostać zintegrowany z standardowymi urządzeniami, ale wymaga precyzyjnego ustawienia względem płaszczyzny płytki krzemowej. Należy uwzględnić dokładność ustawienia na poziomie submilimetra, a także sprawdzić parametry termiczne na krawędzi płytki – tam są one najmniejsze. Używanie azotu jako gazu oczyszczającego poprawia precyzję procesów, szczególnie w przypadku procesów wrażliwych na wilgoć, a także przedłuża żywotność elementów urządzenia.