Memastikan Suhu Wafer yang Tepat di Kilang Pemprosesan Pintar
Jika anda sedang membina kilang pemprosesan pintar, anda pasti menyedari bahawa menunggu sesuatu rosak sebelum memperbaikinya merupakan situasi yang sangat menyusahkan. Anda perlu mengetahui apa yang sedang berlaku pada masa kini. Inilah fungsi sistem inframerah (IR). Kita menggunakan sistem ini kerana ia membolehkan kita mengukur suhu pada permukaan wafer tanpa perlu menyentuhnya sama sekali. Tiada sentuhan, tiada risiko pencemaran. Sangat mudah.
Mengapa Kaedah Tanpa Sentuhan Itu Penting
Fikirkan cara lama, iaitu penggunaan termokopel. Ia perlu menyentuh permukaan wafer, dan ini akan menimbulkan masalah. Anda berisiko menghadapi tekanan mekanikal, atau lebih buruk lagi, zarah-zarah boleh jatuh ke atas permukaan wafer tersebut.
Dengan penggunaan pengukur suhu inframerah, kita hanya perlu “memerhatikan” radiasi haba yang keluar dari wafer. Cara ini lebih bersih. Sensor-sensor ini menghasilkan isyarat yang boleh disambung terus ke sistem PLC atau SCADA. Dengan cara ini, anda dapat melihat peta suhu secara langsung. Ini merupakan cara yang paling efektif untuk mengesan kawasan-kawasan yang mempunyai suhu rendah semasa proses pemprosesan berlangsung.
Menggunakan Data Secara Efektif
Sensor sahaja hanyalah sekeping peralatan keras. Kehebatannya terletak pada cara ia disambungkan ke sistem data.
Kami membina sistem IR yang tahan lama. Kami tahu bahawa alat-alat seperti etcher atau CVD menciptakan gangguan elektromagnetik yang boleh merosakkan isyarat yang diterima. Namun, setelah tenaga haba ditukarkan menjadi data digital, anda boleh membuat sistem maklum balas yang berfungsi dengan baik. Jika suhu berubah walaupun sebanyak 2°C, sistem akan segera mengesan perubahan tersebut dan menyesuaikan bekalan kuasa dengan segera. Anda tidak perlu risau lagi.
Cabaran Sebenar
Namun, semuanya tidaklah sempurna. Terdapat beberapa kelemahan.
Sensor IR sangat sensitif terhadap nilai emisiviti. Jika lapisan pada wafer berubah, atau gas di dalam bilik pemprosesan berubah arah, bacaan suhu akan berubah. Anda perlu meluangkan masa untuk menyeragamkan tetapan perisian, jika tidak, anda akan mendapat data yang tidak tepat.
Satu lagi perkara penting: pastikan tingkap-tingkap tersebut bersih. Jika kotoran terkumpul pada port kuarsa, isyarat akan terhalang. Profil suhu akan menjadi tidak tepat, dan anda perlu memulakan semula proses tersebut. Pastikan kaca tersebut bersih, dan segalanya akan berjalan lancar.