अपने मूल्यवान उपकरणों को “ओवन” में बदलना बंद करें।
अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व, थोड़े ज्यादा ही ऊर्जा पैदा करते हैं। ये ऊर्जा 360 डिग्री में हर दिशा में फैल जाती है। जब आप सीमित जगह में सेमीकंडक्टर उपकरणों का उपयोग कर रहे होते हैं, तो यह एक बड़ी समस्या बन जाती है। यह अतिरिक्त ऊर्जा उपकरण की आंतरिक दीवारों पर पड़ती है।
परिणाम? उपकरण की दीवारें गर्म हो जाती हैं। यह ऑपरेटरों के लिए एक बड़ा खतरा है, साथ ही ऊर्जा की भी बर्बादी होती है। वास्तव में, आप तो उपकरण के चेसिस को ही गर्म कर रहे हैं, जबकि आपको तो केवल वेफरों को ही गर्म करने की आवश्यकता है।
समाधान बहुत ही सरल है – दिशात्मक IR तकनीक।
इसे ऐसे ही समझें: सामान्य बल्ब के बजाय टॉर्च का उपयोग करना। दिशात्मक IR लैंप, ऊर्जा को ठीक उसी जगह पर भेजने हेतु प्रतिफलकों या विशेष कोटिंगों का उपयोग करते हैं।
ऊर्जा सीधे वेफर या सब्सट्रेट पर ही पड़ती है, और वहीं रहती है। उपकरण की आंतरिक दीवारें अतिरिक्त ऊर्जा को नहीं अवशोषित करतीं, इसलिए उपकरण के अंदर का वातावरण गर्म नहीं रहता।
यह क्यों महत्वपूर्ण है?
जब आप ऐसे लैंप चुनते हैं, तो “विकिरण का कोण” ही सबसे महत्वपूर्ण बात है। छोटा किरण-कोण, कम अतिरिक्त विकिरण का कारण बनता है।
उपकरणों की देखभाल करने वाले लोगों के लिए यह बहुत ही महत्वपूर्ण है। इससे उन्हें हर बार पैनल खोलते समय जलने का खतरा नहीं रहता। साथ ही, आपकी फैक्ट्री की शीतलन प्रणालियों को भी आराम मिलता है… क्योंकि उन्हें ऐसी दीवारों को ठंडा करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
लेकिन…
यह कोई जादुई उपाय नहीं है। जब ऊर्जा को इतनी तीव्रता से एक ही दिशा में भेजा जाता है, तो यदि सब कुछ सही ढंग से व्यवस्थित न हो, तो “गर्म बिंदु” बन सकते हैं।
आपके माउंटिंग ब्रैकेट बहुत ही मजबूत होने चाहिए। यदि लैंप कुछ मिलीमीटर ही खिसक जाए, तो आपको अपने लक्ष्य क्षेत्र को छोड़ना ही पड़ेगा… या वेफर पर असमान तापमान पड़ सकता है।
मेरी सलाह? लैंप बदलने के बाद जरूर कैलिब्रेशन जाँच करें। इसमें थोड़ा समय लगता है, लेकिन इससे पूरे बैच के वेफर बर्बाद नहीं होंगे।