Comment parvenir à un traitement correct des wafer : tout dépend du réflexe des rayons lumineux
Lorsque l’on traite des wafer, on ne se contente pas de chauffer les éléments concernés. En réalité, il s’agit de gérer le flux de photons.
Le problème, c’est que lorsque l’on utilise une lampe de traitement à haute puissance, une grande partie de l’énergie infrarouge est renvoyée en arrière, loin du substrat. Si l’on n’a pas de réflecteur adéquat, toute cette énergie disparaît dans l’air. Cela transforme l’espace de travail en four, provoque des problèmes pour les systèmes de refroidissement et augmente la facture d’électricité. C’est un gaspillage.
Pourquoi nous choisissons l’or
Vous vous demandez peut-être pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or plutôt que quelque chose de moins cher comme l’aluminium. Cela vient de la physique de la lumière : l’or est beaucoup plus efficace pour renvoyer ces rayons infrarouges à longue et moyenne longueur d’onde. L’aluminium, quant à lui, absorbe trop d’énergie. L’or, lui, permet à presque chaque watt émis par la lampe d’atteindre sa cible.
Mais le revêtement n’est qu’une partie de la solution. Nous accordons beaucoup d’attention à la forme du réflecteur. Si la géométrie est correcte, on peut transformer une source de lumière diffuse en un faisceau bien dirigé. On obtient ainsi plus de chaleur sur le wafer, sans avoir à augmenter la tension électrique à des niveaux dangereux.
La partie difficile
C’est là que les choses deviennent complexes. Il faut trouver le bon équilibre entre le réflecteur et la forme de la lampe. Même quelques millimètres d’écart peuvent entraîner des points chauds. Ces variations de température peuvent endommager le wafer ou entraîner un traitement inégal. C’est frustrant et coûteux.
Et attention : l’or est très exigeant. Un peu de poussière ou d’empreintes digitales suffisent à tout gâcher. L’huile sur la surface peut provoquer un surchauffage localisé, ce qui peut détruire le revêtement. Il faut donc conserver ces éléments dans un environnement hermétique ou dans une salle propre pour qu’ils durent longtemps.
Quelles sont les conséquences pour votre travail ?
Lorsque cette installation fonctionne correctement, vous le sentez immédiatement. Vous atteignez plus rapidement les températures souhaitées. Les cycles de traitement deviennent plus courts. De plus, comme l’énergie est bien concentrée, vous pouvez souvent réduire la puissance de la lampe sans pour autant perdre en efficacité. C’est un vrai avantage pour vos équipements. Les filaments de la lampe subissent moins de pression, donc ils ne s’usent pas aussi souvent. Moins de temps d’arrêt. Moins de gaspillage. Un processus qui fonctionne vraiment comme prévu.