Sur la table humide, c’est durant l’étape de rinçage que le rendement diminue progressivement. Un point froid ou une température inégale pendant le séchage assisté par le rinçage ? C’est ainsi que surviennent des marques d’eau, des particules qui collent au wafer, ainsi qu’une tension sur le photo-résistant impossible à contrôler. Ce dont on a besoin, c’est d’une chaleur précise, localisée et constante.
Précision du chauffage infrarouge : uniformité et répétabilité au niveau du sub-millimètre Nous utilisons des lampes infrarouges étanches qui génèrent un champ thermique stable, avec une précision au niveau du sub-millimètre. Ainsi, la température du wafer reste conforme au profil prévu, étape après étape. Les ondes infrarouges à courte longueur d’onde permettent un chauffage rapide, avec une faible masse thermique, ce qui assure un contrôle précis. Les chiffres le confirment : une uniformité au niveau du wafer de ±0,1 °C, et une répétabilité entre les différents lots de production.
Pourquoi cela fonctionne bien dans la station de rinçage Le chauffage pendant l’étape de rinçage doit être précis et se dérouler dans des salles propres de classe 1–100. La lampe ne produit aucune particule, et son boîtier étanche résiste aux sprays haute pression et aux produits chimiques sans perdre en stabilité. Les temps de traitement sont réduits, car la lampe atteint rapidement la température souhaitée. De plus, l’énergie consommée est minimisée, car la chaleur est adaptée au moment du rinçage – pas de temps perdu, pas de dépassements de température. Moins de retouches, moins de déchets, et un séchage efficace qui préserve l’intégrité des motifs imprimés.
Notes d’installation et de fonctionnement Les tolérances de montage sont strictes. Il est nécessaire d’aligner le faisceau lumineux par rapport au plan du wafer, avec une précision de ±0,5 mm, pour maintenir l’uniformité. La lampe est conçue pour être utilisée avec de l’eau déionisée et des produits de rinçage standards. Cependant, pour les solutions riches en chlorures ou très agressives, il est nécessaire d’évaluer plus en détail les matériaux utilisés. Il est également important de procéder à des vérifications régulières de l’intensité et de la température ; même avec des émetteurs stables, des déviations dans le capteur peuvent entraîner une perte de répétabilité avec le temps.