جلوگیری از خرابی لامپها و نابودی محصولات شما
در کارخانههای تولید نیمههادی با ظرفیت بالا، خرابی لامپها فقط یک مشکل تعمیراتی ساده نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
تصور کنید: لوله کوارتزی شکسته میشود و ناگهان تکههای شیشه و رشتههای تنگستن به سمت ویفرها میافتند. حتی یک خرابی کوچک هم میتواند باعث از بین رفتن کل محصولات شود. به همین دلیل، سیستمهای گرمایشی مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که اجازه ندهند این ذرات به محصولات شما برسند.
دلایل خرابی لامپها
لامپهای با توان بالا، تحت فشار زیادی قرار دارند؛ آنها مدام گرم و سرد میشوند، که این امر فشار زیادی بر ماده لامپ وارد میکند. اگر حتی یک نقص کوچک در کوارتز وجود داشته باشد، یا اگر گرما به طور یکنواخت توزیع نشود، لوله کوارتز شکسته خواهد شد.
در چنین شرایطی، تکههای شیشه به سمت ویفرها میافتند. ما از کوارتز با خلوص بالا برای ساخت لامپها استفاده میکنیم؛ همچنین سعی کردهایم ضخامت دیواره لوله را به گونهای تنظیم کنیم که گرما بتواند از میان آن عبور کند، اما در عین حال مقاومت لوله حفظ شود. ما فقط به افزایش توان لامپها اکتفا نمیکنیم؛ بلکه هر لوله را طوری طراحی میکنیم که بتواند با چرخههای حرارتی موجود در فرآیند تولید مقابله کند.
جلوگیری از ورود ذرات به ویفرها
برای حفظ تمیزی ویفرها، از روشهای ساده فیزیکی برای جذب ذرات استفاده میکنیم. لامپها را در یک غلاف ایمنی قرار میدهیم؛ این غلاف، یک سپر محافظ است. اگر لامپ داخلی خراب شود، غلاف تکههای شیشه را در خود نگه میدارد. البته باید لامپ خراب شده را تعویض کرد، اما ویفرها همچنان تمیز خواهند ماند.
همچنین، ما به جای اتصالات لامپها نیز توجه زیادی میکنیم؛ اگر اتصالات صحیح انجام نشوند، مشکلاتی پیش خواهد آمد. ما از اتصالات با دقت بالا استفاده میکنیم تا اطمینان حاصل کنیم که اتصالات الکتریکی استوار باشند.
تضادهای موجود
باید صادقانه بگوییم که استفاده از غلاف محافظ، مقدار کمی از انتقال امواج مادون قرمز را مسدود میکند؛ بنابراین مقدار کمی از گرمای مورد نیاز از دست میرود. شاید لازم باشد تنظیمات توان لامپها را تغییر دهیم یا زمان کار لامپها را افزایش دهیم تا این کمبود جبران شود. اما صادقانه بگوییم، این قیمت کوچکی است در مقایسه با فاجعه نابودی کل محصولات به دلیل چند تکه شیشه.